-
Publicēts14/10/2022
-
Termiņš11/11/2022
-
Piedāvājumu atvēršana12/11/2022
-
Piešķirts17/02/2023
-
Šodien20/07/2026
Papildpielāgojumi
Zviedrija-Lund: Laboratorijas, optiskās un precīzijas ierīces (izņemot brilles)
Scope
Lund Nano Lab is planning to purchase an automated wafer processing cluster tool for spin coating and development. This system must contain process automation and be capable of performing sample preparation including adhesion promotion HMDS coating, resist spin-coating, sample baking and automated wet chemical development with minimum manual handling, via user-defined recipes. The system must be capable of handling several of our most sensitive and commonly used resists. A key attribute of the system will be the ability to form uniform and repeatable resist coating results and highly controlled development times of wafers post-exposure.
The tool must also contain several hotplates so that different temperatures can be programed simultaneously, and samples are transferred to these without user intervention via robotic arms.
https://tendsign.com/doc.aspx?UniqueId=afmyaxhrax&GoTo=Tender
Pasta adrese: Europastraße 8
Pilsēta: Villach / Austria
Pasta indekss: A-9524
Valsts: AUT
Šajā lapā publicētā informācija ir tikai papildu informācijas avots, un tai nav juridiska spēka. Eiropas Savienības iestādes neatbild par tās saturu. Attiecīgo līguma paziņojumu oficiālās versijas ir tās, kas publicētas Eiropas Savienības Oficiālā Vēstneša papildinājumā un pieejamas vietnē TED. Šie oficiāli spēkā esošie dokumenti ir tieši pieejami, noklikšķinot uz šajā lapā iegultajām saitēm. Sīkāku informāciju skatiet paziņojumā par izskaidrojamību un atbildību publiskā iepirkuma jomā.