-
Uverejnené11/11/2024
-
Lehota13/01/2025
-
Otváranie ponúk14/01/2025
-
Dnes31/08/2026
Pomôcky
- označuje kódy CPV odvodené zo znenia postupu
- označuje text preložený automaticky do vášho zvoleného jazyka
XUV Piezo klaster
Skupina XUV Optics Group v inštitúte MESA+ na univerzite v Twente má tendenciu investovať do klastra XUV Piezo, aby vykonávala výskum piezoelektrických filmových snímačov a akčných členov. Cieľom je rozšíriť možnosti nanášania piezoelektrického filmu na väčšie rozmery substrátu s pokročilejšími systémami riadenia procesov, ktoré umožňujú preskúmať širšie okno procesu. Klaster XUV Piezo sa bude používať na nanášanie čistých kovov, oxidov kovov a piezoelektrických vrstiev na rôzne substráty, ktoré sa budú ďalej spracovávať pomocou fotolitografie a krokov nanášania v zariadeniach MESA+ Nanolab. Stručný opis schopností je uvedený nižšie: Klaster XUV Piezo musí byť schopný spracovať substráty s priemerom najmenej 200 mm. Klaster XUV Piezo musí obsahovať komoru na nanášanie piezoelektrickej vrstvy Pb(Zr,Ti)O3 (PZT), ktorá pôsobí ako aktívna vrstva pre aplikácie snímačov a ovládačov. Klaster XUV Piezo zahŕňa komoru alebo komory na nanášanie čistých kovov, ako sú Pt, zlato (Au) alebo oxidy vodivých kovov, ako sú vrstvy LaNiO3 alebo SrRuO3. Klaster XUV Piezo musí byť schopný rozprašovať bežne používané vrstvy adhézie Ti, Ta alebo Cr, ktoré predchádzajú vrstvám čistého kovu. Klaster XUV Piezo musí obsahovať uzamykaciu komoru na rýchle naloženie vzorky a dosiahnutie základného tlaku. Klaster XUV Piezo musí obsahovať prenosovú komoru umožňujúcu prenos substrátov medzi nánosovými komorami bez porušenia vákua. Klaster XUV Piezo sa ďalej rozšíri tak, aby zahŕňal komoru na predbežnú úpravu na účely, ako je odplynenie alebo leptanie pred uložením vrstiev alebo po ňom. Úplné technické špecifikácie sa nachádzajú v dodatku B: Zoznam požiadaviek a želaní. Uchádzači nemôžu z orientačných špecifikácií odvodzovať žiadne práva. Všetky sumy sú uvedené bez DPH.
https://s2c.mercell.com/today/119146
https://s2c.mercell.com/today/119146
38000000 - Laboratórne, optické a presné prístroje a vybavenie (s výnimkou skiel)
Obsah tejto stránky predstavuje len doplnkový zdroj informácií a nemá žiadny právny účinok. Inštitúcie Únie nenesú za tento obsah nijakú zodpovednosť. Úradné verzie príslušných oznámení o vyhlásení verejného obstarávania sú uverejnené v dodatku k Úradnému vestníku Európskej únie a sú k dispozícii v databáze TED. Tieto úradné znenia sú priamo dostupné prostredníctvom odkazov uverejnených na tejto stránke. Viac informácií nájdete v oznámení o zásadách vysvetliteľnosti a zodpovednosti vo verejnom obstarávaní.