-
Publicată22/04/2020
-
Termenul-limită04/06/2020
-
Contract atribuit10/08/2020
-
Astăzi24/09/2026
Utilități
Germania-Ilmenau: Echipamente industriale
Im Rahmen des Projektes ForLab NSME wird eine Prozesslinie zur Fertigung neuromorpher Elektronik aufgebaut. Innerhalb dieser Prozesslinie wird eine chemisch-mechanische Polieranlage (CMP) zur Planarisierung der Prozesstopografie benötigt. Diese soll den Aufbau komplexer Systemarchitekturen im Materialsystem Nb/SiO2 mit einer Vielzahl von Aufbauebenen ermöglichen. Sie ist darüber hinaus Voraussetzung für die heterogene (back-end) Integration der Technologie auf CMOS-prozessierten Wafern. Bei beiden Prozessen müssen störende Topographieeffekte reduziert werden, um die angestrebte Performance zu erreichen. Weiterhin muss die Anlage geeignet sein, quadratische LTCC-Substrate mit Schichtaufbauten z. B. aus Aluminiumnitrid zu planarisieren.
https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=323504
Adresa poștală: Carl-Friedrich-Benz-Str. 5
Localitatea: Willich
Codul poștal: 47877
Țara: DEU
Conținutul publicat pe această pagină este doar un serviciu suplimentar și nu are efect juridic. Instituțiile Uniunii nu își asumă răspunderea pentru acest conținut. Versiunile oficiale ale anunțurilor de participare relevante sunt cele publicate în suplimentul la Jurnalul Oficial al Uniunii Europene și disponibile pe TED. Aceste texte oficiale pot fi consultate direct accesând linkurile indicate pe această pagină. Pentru mai multe informații, consultați avizul privind explicabilitatea și responsabilitatea în materie de achiziții publice.