-
Publicată13/08/2026
-
Termenul-limită14/09/2026
-
Astăzi27/09/2026
Utilități
- indică codurile CPV deduse din textul procedurii
- indică textul tradus automat în limba de navigare
Sistem de gravare pentru gravarea profundă a siliciului pentru MEMS
Ruhr-Universität Bochum intenționează să achiziționeze un sistem de gravare DRIE, care va fi utilizat în laboratorul de cercetare Microelectronics Bochum pentru substraturi de plachete cu diametrul de până la 200 mm. Acesta va fi utilizat în domeniul sistemelor micro-electromecanice pe bază de siliciu (MEMS) pentru gravarea profundă a siliciului anizotrop bazat pe un proces de gravare ciclică (DRIE, "procesul BOSCH") și va servi, de asemenea, la cercetarea de noi concepte de gravare care utilizează gaze de gravare mai puțin dăunătoare climei.
https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNYH7D2XQ
https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNYH7D2XQ
38000000 - Echipamente de laborator, optice şi de precizie (cu excepţia ochelarilor)
22000000 - Imprimate şi produse conexe
Conținutul publicat pe această pagină este doar un serviciu suplimentar și nu are efect juridic. Instituțiile Uniunii nu își asumă răspunderea pentru acest conținut. Versiunile oficiale ale anunțurilor de participare relevante sunt cele publicate în suplimentul la Jurnalul Oficial al Uniunii Europene și disponibile pe TED. Aceste texte oficiale pot fi consultate direct accesând linkurile indicate pe această pagină. Pentru mai multe informații, consultați avizul privind explicabilitatea și responsabilitatea în materie de achiziții publice.