-
Publicată11/11/2024
-
Termenul-limită13/01/2025
-
Deschiderea ofertelor14/01/2025
-
Astăzi22/10/2026
Utilități
- indică codurile CPV deduse din textul procedurii
- indică textul tradus automat în limba de navigare
Clusterul XUV Piezo
Grupul XUV Optics din cadrul Institutului MESA+ de la Universitatea din Twente tinde să investească în XUV Piezo Cluster pentru a efectua cercetări privind senzorii și actuatorii piezoelectrici pe bază de film. Scopul este de a extinde capacitățile de acoperire cu peliculă piezoelectrică la dimensiuni mai mari ale substratului, cu sisteme mai avansate de control al procesului care permit explorarea unei ferestre de proces mai largi. Clusterul XUV Piezo va fi utilizat pentru depunerea metalelor pure, a oxizilor metalici și a straturilor piezoelectrice pe diferite substraturi pentru a fi prelucrate ulterior utilizând fotolitografia și etapele de depunere în instalațiile MESA+ Nanolab. O scurtă descriere a capacităților este prezentată mai jos: Clusterul XUV Piezo trebuie să poată prelucra substraturi cu diametrul de cel puțin 200 mm. Clusterul piezoelectric XUV include o cameră pentru depunerea stratului piezoelectric Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) care acționează ca strat activ pentru aplicațiile senzorilor și actuatorilor. Clusterul XUV Piezo include una sau mai multe camere pentru depunerea metalelor pure, cum ar fi Pt, aurul (Au) sau oxizii metalici conductivi, cum ar fi straturile LaNiO3 sau SrRuO3. Clusterul XUV Piezo trebuie să aibă capacitatea de a pulveriza straturile de aderență Ti, Ta sau Cr utilizate în mod obișnuit înaintea straturilor metalice pure. XUV Piezo Cluster trebuie să includă o cameră de blocare a sarcinii pentru încărcarea rapidă a eșantionului și atingerea presiunii de bază. Clusterul XUV Piezo trebuie să includă o cameră de transfer care să permită transferul substraturilor între camerele de depunere fără ruperea vidului. Clusterul Piezo XUV trebuie să poată fi extins în continuare pentru a include o cameră de pretratare în scopuri precum degazarea sau gravarea înainte sau după depunerea straturilor. Specificațiile tehnice complete pot fi găsite în „Apendicele B: Lista cererilor și dorințelor”. Ofertanții nu pot obține niciun drept din specificația orientativă. Toate sumele sunt specificate fără TVA.
https://s2c.mercell.com/today/119146
https://s2c.mercell.com/today/119146
38000000 - Echipamente de laborator, optice şi de precizie (cu excepţia ochelarilor)
45000000 - Lucrări de construcţii
Conținutul publicat pe această pagină este doar un serviciu suplimentar și nu are efect juridic. Instituțiile Uniunii nu își asumă răspunderea pentru acest conținut. Versiunile oficiale ale anunțurilor de participare relevante sunt cele publicate în suplimentul la Jurnalul Oficial al Uniunii Europene și disponibile pe TED. Aceste texte oficiale pot fi consultate direct accesând linkurile indicate pe această pagină. Pentru mai multe informații, consultați avizul privind explicabilitatea și responsabilitatea în materie de achiziții publice.