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Sistema de gravação para gravação de silício profundo para MEMS - Concursos da UE
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Sistema de gravação para gravação de silício profundo para MEMS

Panorâmica
  • Publicado
    13/08/2026
  • Prazo limite
    14/09/2026
  • Hoje
    27/09/2026
Estado
Candidaturas encerradas
Tipo de contrato
Supplies
Renovável
No
Comprador
Ruhr-Universität Bochum
Local de execução
NUTS code: Vários locais de execução
Localização do comprador
NUTS code: DEA51 Bochum, Kreisfreie Stadt
Setor de atividade (CPV principal)
38000000 Equipamento laboratorial, óptico e de precisão (exc. óculos)
Montante total estimado do contrato (sem IVA)
1,024,000.00 EUR
Montante total final do contrato (sem IVA)
Não disponível
Detalhes do procedimento
Número de referência do concurso
WD/2026/BVG00084528
Descrição

A Ruhr-Universität Bochum pretende adquirir um sistema de gravação DRIE, que será utilizado no laboratório de investigação Microelectronics Bochum para substratos de bolachas de até 200 mm de diâmetro. Será utilizado no domínio dos sistemas microeletromecânicos à base de silício (MEMS) para a gravação anisotrópica profunda de silício com base num processo de gravação cíclica (DRIE, "processo BOSCH") e servirá também para investigar novos conceitos de gravação que utilizem gases de gravação menos nocivos para o clima.

Modo de apresentação
Contacto eletrónico alternativo:
https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNYH7D2XQ
Podem ser apresentadas propostas
Apresentação por via eletrónica: necessário
https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNYH7D2XQ
Informações sobre um contrato público, um acordo-quadro ou um sistema de aquisição dinâmico
Não disponível
Condições de abertura do concurso (data)
Não disponível
Local de execução
DEA51 Bochum, Kreisfreie Stadt
DE Deutschland
Código CPV

38000000 - Equipamento laboratorial, óptico e de precisão (exc. óculos)

22000000 - Material impresso e afins

Método de adjudicação
Não disponível
Valor estimado
1,024,000.00 EUR
Valor final do contrato
Não disponível
Adjudicação do contrato
Não disponível
Documentos
Informações prévias
Contrato
Adjudicação
Footnote - legal notice

Os conteúdos publicados nesta página constituem apenas um serviço complementar e não produzem efeitos jurídicos. As Instituições da União não assumem qualquer responsabilidade por estes conteúdos. As versões oficiais dos anúncios de concursos públicos são as publicadas no Suplemento do Jornal Oficial da União Europeia e disponíveis no TED. É possível aceder diretamente a esses textos oficiais através das ligações incluídas nesta página. Para mais informações, consulte a declaração relativa à explicabilidade e responsabilidade em matéria de contratação pública.