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Publicado11/11/2024
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Prazo limite13/01/2025
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Abertura das propostas14/01/2025
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Hoje01/09/2026
Ferramentas
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Agregado XUV Piezo
O Grupo de Óptica XUV no Instituto MESA+ da Universidade de Twente tende a investir no Cluster XUV Piezo para realizar pesquisas sobre sensores e atuadores piezoelétricos à base de película. O objetivo é ampliar as capacidades de revestimento de filme piezoelétrico para dimensões de substrato maiores com sistemas de controlo de processo mais avançados que permitam explorar uma janela de processo mais ampla. O Aglomerado XUV Piezo será utilizado para a deposição de metais puros, óxidos metálicos e camadas piezoeléctricas em vários substratos a serem posteriormente processados usando fotolitografia e etapas de deposição nas instalações MESA + Nanolab. Uma breve descrição das capacidades é descrita abaixo: O aglomerado XUV Piezo deve ser capaz de processar substratos com, pelo menos, 200 mm de diâmetro. O aglomerado XUV Piezo deve incluir uma câmara para a deposição da camada piezoelétrica Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) que atua como camada ativa para aplicações de sensores e atuadores. O aglomerado XUV Piezo deve incluir uma câmara ou câmaras para a deposição de metais puros, como Pt, ouro (Au) ou óxidos metálicos condutores, como as camadas LaNiO3 ou SrRuO3. O aglomerado XUV Piezo deve ter a capacidade de pulverizar as camadas de adesão tipicamente utilizadas de Ti, Ta ou Cr que precedem as camadas de metal puro. O aglomerado XUV Piezo deve incluir uma câmara de bloqueio de carga para uma carga rápida da amostra e para atingir a pressão de base. O aglomerado XUV Piezo deve incluir uma câmara de transferência que permita a transferência de substratos entre câmaras de deposição sem quebrar o vácuo. O aglomerado XUV Piezo deve ser expansível de modo a incluir uma câmara de pré-tratamento para fins como a desgaseificação ou gravação antes ou depois da deposição das camadas. As especificações técnicas completas podem ser consultadas no «Apêndice B: Calendário de pedidos e desejos». Os proponentes não podem retirar quaisquer direitos do caderno de encargos indicativo. Todos os montantes são especificados sem IVA.
https://s2c.mercell.com/today/119146
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38000000 - Equipamento laboratorial, óptico e de precisão (exc. óculos)
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