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ICP-RIE-Plasmaätzanlage für cryogenes Trockenätzen von Silizium, Siliziumdioxid u.ä. - Concursos da UE
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OP Portal - Procurement - Details

ICP-RIE-Plasmaätzanlage für cryogenes Trockenätzen von Silizium, Siliziumdioxid u.ä.

Panorâmica
  • Publicado
    03/12/2024
  • Prazo limite
    09/01/2025
  • Abertura das propostas
    09/01/2025
  • Adjudicado
    26/02/2025
  • Hoje
    28/05/2026
Estado
Adjudicado
Tipo de contrato
Supplies
Renovável
No
Comprador
Friedrich-Schiller-Universität Jena
Local de execução
NUTS code: Vários locais de execução
Localização do comprador
NUTS code: DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt
Setor de atividade (CPV principal)
38000000 Equipamento laboratorial, óptico e de precisão (exc. óculos)
Montante total estimado do contrato (sem IVA)
825,000.00 EUR
Montante total final do contrato (sem IVA)
681,300.00 EUR
Detalhes do procedimento
Número de referência do concurso
EU-OV/2024-71
Descrição

Auftragsgegenstand ist eine ICP-RIE-Plasmaätzanlage für die Strukturierung mikro- und nanooptischer Elemente, konkret proportionales und binäres Plasmaätzen in dielektrische, halbleitende Materialien und Funktionsschichten (Quarzglas /fused silica, Silizium, SiOxNy , Siliziumkarbid, hochbrechende Materialien, wie Ta2O5, Nb2O5, etc.) mittels Fluor-basierter Reaktivgasprozesse auch bei, aber nicht ausschließlich kryogenen Temperaturen um -130°C. Die Anlage mit Beladeschleuse (Loadlock, LL) muss das Prozessieren variabler Substratgrößen mittels Carrier ohne großen Bearbeitungs und Zeitaufwand ermöglichen. Ein schneller, variabler Wechsel der Substratelektrodenkühlung zwischen Kühlung mittels Tiefkältethermostat und Flüssig-Stickstoff ist anzustreben. Zumindest muss aber die Möglichkeit einer nachträglichen Umrüstung auf Flüssigstickstoffkühlung ohne bauliche Änderung an der Substratelektrode gegeben sein. Weiteres siehe Anlage 2.

Modo de apresentação
Contacto eletrónico alternativo:
https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=730992
Podem ser apresentadas propostas
Apresentação por via eletrónica: necessário
https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=730992
Informações sobre um contrato público, um acordo-quadro ou um sistema de aquisição dinâmico
Não disponível
Condições de abertura do concurso (data)
09/01/2025 10:05
Local de execução
DE Deutschland
DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt
Código CPV

38000000 - Equipamento laboratorial, óptico e de precisão (exc. óculos)

Método de adjudicação
Critério:
Tipo: quality
Descrição: 100
Ponderação (percentagem, valor exato): 1
Valor estimado
825,000.00 EUR
Valor final do contrato
681,300.00 EUR
Adjudicação do contrato
Designação oficial: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Endereço postal:
Localidade: Krailling
Código postal: 82152
País:
Documentos
Informações prévias
Contrato
Adjudicação
Footnote - legal notice

Os conteúdos publicados nesta página constituem apenas um serviço complementar e não produzem efeitos jurídicos. As Instituições da União não assumem qualquer responsabilidade por estes conteúdos. As versões oficiais dos anúncios de concursos públicos são as publicadas no Suplemento do Jornal Oficial da União Europeia e disponíveis no TED. É possível aceder diretamente a esses textos oficiais através das ligações incluídas nesta página. Para mais informações, consulte a declaração relativa à explicabilidade e responsabilidade em matéria de contratação pública.