-
Opublikowano22/04/2020
-
Termin04/06/2020
-
Odaítélve10/08/2020
-
Mai nap24/09/2026
Narzędzia
Niemcy-Ilmenau: Maszyny przemysłowe
Im Rahmen des Projektes ForLab NSME wird eine Prozesslinie zur Fertigung neuromorpher Elektronik aufgebaut. Innerhalb dieser Prozesslinie wird eine chemisch-mechanische Polieranlage (CMP) zur Planarisierung der Prozesstopografie benötigt. Diese soll den Aufbau komplexer Systemarchitekturen im Materialsystem Nb/SiO2 mit einer Vielzahl von Aufbauebenen ermöglichen. Sie ist darüber hinaus Voraussetzung für die heterogene (back-end) Integration der Technologie auf CMOS-prozessierten Wafern. Bei beiden Prozessen müssen störende Topographieeffekte reduziert werden, um die angestrebte Performance zu erreichen. Weiterhin muss die Anlage geeignet sein, quadratische LTCC-Substrate mit Schichtaufbauten z. B. aus Aluminiumnitrid zu planarisieren.
https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=323504
Adres pocztowy: Carl-Friedrich-Benz-Str. 5
Miejscowość: Willich
Kod pocztowy: 47877
Kraj: DEU
Treść tej strony ma wyłącznie charakter usługi dodatkowej i nie wywołuje skutków prawnych. Unijne instytucje nie ponoszą żadnej odpowiedzialności za tę treść. Oficjalne wersje odpowiednich ogłoszeń o zamówieniu to wersje opublikowane w Suplemencie do Dziennika Urzędowego Unii Europejskiej i dostępne w serwisie TED. Do oficjalnych wersji ogłoszeń prowadzą linki opublikowane na tej stronie. Więcej na ten temat można znaleźć w informacji o wytłumaczalności i odpowiedzialności w kontekście zamówień publicznych.