Publications Office of the EU
Etssysteem voor diep silicium etsen voor MEMS - EU-aanbestedingen
DisplayCustomHeader
MyPortal
Taalkiezer
Nederlands
BasketSummary
Procurement Detail Actions Portlet

Toegankelijkheidshulpmiddelen

Procurement Detail Actions Portlet
OP Portal - Procurement - Details

Deze pagina bevat inhoud die automatisch wordt gegenereerd om de vindbaarheid en toegankelijkheid te verbeteren

- staat bij CPV-codes die zijn afgeleid uit de tekst van de procedure

- staat bij tekst die automatisch is vertaald naar de taal van de gebruikersinterface

Etssysteem voor diep silicium etsen voor MEMS

In het kort
  • Gepubliceerd
    13/08/2026
  • Uiterste termijn
    14/09/2026
  • Vandaag
    12/10/2026
Status
Inschrijven afgesloten
Soort contract
Supplies
Verlenging voorzien
No
Koper
Ruhr-Universität Bochum
Plaats van uitvoering
NUTS code: Meerdere plaatsen van uitvoering
Locatie van de koper
NUTS code: DEA51 Bochum, Kreisfreie Stadt
Sector (CPV)
38000000 Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen)
Totale geraamde waarde van de opdracht (excl. Btw)
1,024,000.00 EUR
Totale definitieve waarde van de opdracht (excl. btw)
Niet beschikbaar
Details over de procedure
Referentienummer inschrijving
WD/2026/BVG00084528
Beschrijving

De Ruhr-Universität Bochum is van plan een DRIE-etssysteem aan te schaffen, dat zal worden gebruikt in het onderzoekslaboratorium Microelectronics Bochum voor wafersubstraten met een diameter tot 200 mm. Het zal worden gebruikt op het gebied van micro-elektromechanische systemen op basis van silicium (MEMS) voor diep anisotroop silicium etsen op basis van een cyclisch etsproces (DRIE, "BOSCH-proces") en zal ook dienen om nieuwe etsconcepten te onderzoeken die minder klimaatbeschadigende etsgassen gebruiken.

Inschrijvingsmethode
Elektronisch via:
https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNYH7D2XQ
Inschrijven mogelijk
Elektronische indiening: vereist
https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNYH7D2XQ
Informatie over een overheidsopdracht, raamovereenkomst of dynamisch aankoopsysteem (DPS)
Niet beschikbaar
Omstandigheden waarin inschrijvingen worden geopend (datum)
Niet beschikbaar
Plaats van uitvoering
DEA51 Bochum, Kreisfreie Stadt
DE Deutschland
CPV-code

38000000 - Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen)

22000000 - Drukwerk en aanverwante producten

Gunningsmethode
Niet beschikbaar
Geraamde waarde
1,024,000.00 EUR
Definitieve waarde van de opdracht
Niet beschikbaar
Gunning van het contract
Niet beschikbaar
Documenten
Voorafgaande informatie
Opdracht
Gunning
Footnote - legal notice

De inhoud van deze pagina is louter bedoeld als extra service en is juridisch niet bindend. De instellingen van de Unie aanvaarden geen aansprakelijkheid voor de inhoud. Aankondigingen van aanbestedingen worden officieel bekendgemaakt in het Supplement op het Publicatieblad van de Europese Unie en zijn beschikbaar via TED. Die officiële versies zijn rechtstreeks toegankelijk via de links op deze pagina. Zie voor meer informatie de mededeling inzake verklaarbaarheid en aansprakelijkheid bij overheidsopdrachten.