Publications Office of the EU
XUV-piëzocluster - EU-aanbestedingen
DisplayCustomHeader
MyPortal
Taalkiezer
Nederlands
BasketSummary
Procurement Detail Actions Portlet

Toegankelijkheidshulpmiddelen

Procurement Detail Actions Portlet
OP Portal - Procurement - Details

Deze pagina bevat inhoud die automatisch wordt gegenereerd om de vindbaarheid en toegankelijkheid te verbeteren

- staat bij CPV-codes die zijn afgeleid uit de tekst van de procedure

- staat bij tekst die automatisch is vertaald naar de taal van de gebruikersinterface

XUV-piëzocluster

In het kort
  • Gepubliceerd
    11/11/2024
  • Uiterste termijn
    13/01/2025
  • Opening van de inschrijvingen
    14/01/2025
  • Vandaag
    17/10/2026
Status
Inschrijven afgesloten
Soort contract
Supplies
Verlenging voorzien
No
Koper
Universiteit Twente
Plaats van uitvoering
NUTS code: Meerdere plaatsen van uitvoering
Locatie van de koper
NUTS code: Niet beschikbaar
Sector (CPV)
38000000 Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen)
Totale geraamde waarde van de opdracht (excl. Btw)
1,900,000.00 EUR
Totale definitieve waarde van de opdracht (excl. btw)
Niet beschikbaar
Details over de procedure
Referentienummer inschrijving
EB-OUT 6528
Beschrijving

De XUV Optics Group van het MESA+ Instituut van de Universiteit Twente investeert in de XUV Piezo Cluster om onderzoek te doen naar piëzo-elektrische filmgebaseerde sensoren en actuatoren. Het doel is om de mogelijkheden voor piëzo-elektrische filmcoating op te schalen naar grotere substraatdimensies met meer geavanceerde procesbesturingssystemen die het mogelijk maken om een breder procesvenster te verkennen. De XUV Piezo Cluster zal worden gebruikt voor de afzetting van zuivere metalen, metaaloxiden en piëzo-elektrische lagen op verschillende substraten die verder worden verwerkt met behulp van fotolithografie en depositiestappen in de MESA + Nanolab-faciliteiten. Hieronder volgt een korte beschrijving van de mogelijkheden: De XUV-piëzocluster moet substraten met een diameter van ten minste 200 mm kunnen verwerken. De XUV-piëzocluster omvat een kamer voor afzetting van piëzo-elektrische Pb(Zr,Ti)O3-laag (PZT) die fungeert als de actieve laag voor sensor- en actuatortoepassingen. De XUV-piëzocluster omvat een of meer kamers voor de afzetting van zuivere metalen zoals Pt, goud (Au) of geleidende metaaloxiden zoals LaNiO3- of SrRuO3-lagen. De XUV-piëzocluster moet in staat zijn de typisch gebruikte Ti-, Ta- of Cr-lijmlagen voorafgaand aan de zuivere metaallagen te sputteren. Het XUV-piëzocluster moet een loadlockkamer bevatten voor het snel laden van monsters en het bereiken van de basisdruk. Het XUV-piëzocluster moet een overdrachtskamer bevatten die de overdracht van substraten tussen de depositiekamers mogelijk maakt zonder het vacuüm te breken. De XUV-piëzocluster moet verder kunnen worden uitgebreid met een voorbehandelingskamer voor doeleinden zoals ontgassing of etsen vóór of nadat de lagen zijn afgezet. De volledige technische specificaties zijn te vinden in „Bijlage B: Lijst van wensen en eisen”. Aan het indicatieve bestek kunnen de inschrijvers geen rechten ontlenen. Alle bedragen worden vermeld exclusief BTW.

Inschrijvingsmethode
Elektronisch via:
https://s2c.mercell.com/today/119146
Inschrijven mogelijk
Elektronische indiening: toegestaan
https://s2c.mercell.com/today/119146
Informatie over een overheidsopdracht, raamovereenkomst of dynamisch aankoopsysteem (DPS)
Niet beschikbaar
Omstandigheden waarin inschrijvingen worden geopend (datum)
14/01/2025 12:00
Plaats van uitvoering
NL Nederland
Any country
CPV-code

38000000 - Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen)

45000000 - Bouwwerkzaamheden

Gunningsmethode
Niet beschikbaar
Geraamde waarde
1,900,000.00 EUR
Definitieve waarde van de opdracht
Niet beschikbaar
Gunning van het contract
Niet beschikbaar
Documenten
Voorafgaande informatie
Opdracht
Gunning
Footnote - legal notice

De inhoud van deze pagina is louter bedoeld als extra service en is juridisch niet bindend. De instellingen van de Unie aanvaarden geen aansprakelijkheid voor de inhoud. Aankondigingen van aanbestedingen worden officieel bekendgemaakt in het Supplement op het Publicatieblad van de Europese Unie en zijn beschikbaar via TED. Die officiële versies zijn rechtstreeks toegankelijk via de links op deze pagina. Zie voor meer informatie de mededeling inzake verklaarbaarheid en aansprakelijkheid bij overheidsopdrachten.