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il-Ġermanja-Mittweida: Makkinarju varju għal skopijiet speċjali - Offerti tal-UE
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il-Ġermanja-Mittweida: Makkinarju varju għal skopijiet speċjali

  • Ippubblikat
    02/07/2014
  • Skadenza
    29/08/2014
  • Aġġudikat
    26/09/2014
  • Illum
    11/08/2026
Status
Aġġudikat
Tip ta’ kuntratt
Supplies
Suġġett għat-Tiġdid
No
Xerrej
Hochschule Mittweida
Post tal-prestazzjoni
NUTS code: DED43 Mittelsachsen
Post tax-xerrej
NUTS code: Mhux disponibbli
Settur tan-negozju (CPV ewlieni)
42990000 Makkinarju varju għal skopijiet speċjali
Stima tal-valur totali tal-kuntratt (eskluża l-VAT)
850,000.00 EUR
Valur totali finali tal-kuntratt (eskluża l-VAT)
849,000.00 EUR
Numru ta’ referenza tal-offerta
EU-AS-01/14
Deskrizzjoni

Ausgehend von konzeptionellen Vorarbeiten des Auftraggebers ist eine Ultrahochvakuum-Beschichtungsanlage für die Laserpulsabscheidung (PLD) von dünnen Schichten und Mehrschichtsystemen zu konstruieren und zu bauen. Die Anlage soll die aufeinander folgende Beschichtung von wenigstens 5 ebenen Substraten mit 4 Zoll Durchmesser mit dickenhomogenen, kontaminations- und partikulatfreien Schichtstapeln aus 10 verschiedenen Materialien im Ultrahochvakuum ermöglichen. Sie soll modular aufgebaut sein, das heißt aus einer Beschickungs- und Entnahmekammer und zwei Beschichtungskammern bestehen, wobei der Transport des zu beschichtenden Substrats aus einem Substratmagazin in der Beschickungs- und Entnahmekammer wahlweise in eine der Beschichtungskammern über Schleusen zu realisieren ist. In der Beschichtungskammer 1 werden Target und Substrat parallel zueinander in einem vorgegebenen Abstand angeordnet, wie es für das PLD-Verfahren üblich ist. Die Beschichtungskammer 2 soll aus zwei Teilkammern (Targetkammer und Substratkammer) mit einem dazwischen angeordneten 90° Magnetspulenablenksystem bestehen, so dass dementsprechend Target und Substrat senkrecht zueinander angeordnet sind. Jede Kammer ist mit einem Targetwechsler und einem heiz- und kühlbaren Substrathalter mit Substratbewegungssystem ausgestattet, so dass in beiden Kammern unabhängig von einander ohne Umbauten alternierend beschichtet werden kann. Target (bzw. Targetwechsler) und Substrat müssen sich auf einem computergesteuerten Target- bzw. Substratbewegungssystem angeordnet sein. Darüber hinaus sind Ionenquellen für die Substratreinigung, den Ionenbeschuss aufwachsender Schichten und die Reinhaltung der Einkoppelfenster für die Laserstrahlen sowie ein in-situ Ellipsometer für die Kontrolle des Schichtwachstums und Geräte (Pyrometer und Thermoelemente) für die Substrattemperaturmessung zu implementieren. Außerdem soll die vollautomatische Steuerung des Beschichtungsprozesses möglich sein. Laser und Optiken für die Laser sind nicht Bestandteil der Ausschreibung.

Metodu ta' Sottomissjoni
Mhux disponibbli
Jistgħu jiġu sottomessi offerti
Submission for all lots
Informazzjoni dwar kuntratt pubbliku, ftehim ta' qafas jew sistema dinamika ta' xiri (DSX)
L-avviż jinvolvi kuntratt pubbliku
Kundizzjonijiet għall-ftuħ tal-offerti (data)
Mhux disponibbli
Post tal-prestazzjoni
Metodu tal-għoti
The most economic tender
Valur stmat
850,000.00 EUR
Valur kuntrattwali finali
849,000.00 EUR
Għoti tal-kuntratt
Isem uffiċjali: Creavac Creative Vakuumbeschichtung GmbH
Indirizz postali: Löbtauer Straße 65-71
Belt: Dresden
Kodiċi postali: 01159
Pajjiż: DEU
Informazzjoni minn qabel
Kuntratt
Għoti
Footnote - legal notice

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