-
Paskelbta14/10/2022
-
Galutinis terminas11/11/2022
-
Vokų su pasiūlymais atplėšimas12/11/2022
-
Skirta17/02/2023
-
Šiandien16/07/2026
Priemonės
Švedija-Lund: Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius)
Scope
Lund Nano Lab is planning to purchase an automated wafer processing cluster tool for spin coating and development. This system must contain process automation and be capable of performing sample preparation including adhesion promotion HMDS coating, resist spin-coating, sample baking and automated wet chemical development with minimum manual handling, via user-defined recipes. The system must be capable of handling several of our most sensitive and commonly used resists. A key attribute of the system will be the ability to form uniform and repeatable resist coating results and highly controlled development times of wafers post-exposure.
The tool must also contain several hotplates so that different temperatures can be programed simultaneously, and samples are transferred to these without user intervention via robotic arms.
https://tendsign.com/doc.aspx?UniqueId=afmyaxhrax&GoTo=Tender
Pašto adresas: Europastraße 8
Vietovė: Villach / Austria
Pašto kodas: A-9524
Šalis: AUT
Šiame puslapyje skelbiamas turinys yra tik papildoma paslauga ir neturi teisinės galios. Europos Sąjungos institucijos nėra teisiškai atsakingos už jo turinį. Oficialios atitinkamų skelbimų apie pirkimą versijos yra paskelbtos Europos Sąjungos oficialiojo leidinio priede ir pateiktos TED. Oficialūs tekstai tiesiogiai prieinami naudojantis šiame puslapyje pateikiamomis nuorodomis. Daugiau informacijos rasite pranešime dėl viešųjų pirkimų paaiškinamumo ir atsakomybės.