-
Paskelbta22/04/2020
-
Galutinis terminas04/06/2020
-
Skirta10/08/2020
-
Šiandien26/09/2026
Priemonės
Vokietija, VFR-Ilmenau: Pramoninės mašinos
Im Rahmen des Projektes ForLab NSME wird eine Prozesslinie zur Fertigung neuromorpher Elektronik aufgebaut. Innerhalb dieser Prozesslinie wird eine chemisch-mechanische Polieranlage (CMP) zur Planarisierung der Prozesstopografie benötigt. Diese soll den Aufbau komplexer Systemarchitekturen im Materialsystem Nb/SiO2 mit einer Vielzahl von Aufbauebenen ermöglichen. Sie ist darüber hinaus Voraussetzung für die heterogene (back-end) Integration der Technologie auf CMOS-prozessierten Wafern. Bei beiden Prozessen müssen störende Topographieeffekte reduziert werden, um die angestrebte Performance zu erreichen. Weiterhin muss die Anlage geeignet sein, quadratische LTCC-Substrate mit Schichtaufbauten z. B. aus Aluminiumnitrid zu planarisieren.
https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=323504
Pašto adresas: Carl-Friedrich-Benz-Str. 5
Vietovė: Willich
Pašto kodas: 47877
Šalis: DEU
Šiame puslapyje skelbiamas turinys yra tik papildoma paslauga ir neturi teisinės galios. Europos Sąjungos institucijos nėra teisiškai atsakingos už jo turinį. Oficialios atitinkamų skelbimų apie pirkimą versijos yra paskelbtos Europos Sąjungos oficialiojo leidinio priede ir pateiktos TED. Oficialūs tekstai tiesiogiai prieinami naudojantis šiame puslapyje pateikiamomis nuorodomis. Daugiau informacijos rasite pranešime dėl viešųjų pirkimų paaiškinamumo ir atsakomybės.