-
Paskelbta11/11/2024
-
Galutinis terminas13/01/2025
-
Vokų su pasiūlymais atplėšimas14/01/2025
-
Šiandien01/09/2026
Priemonės
- nurodo BVPŽ kodus, išvestus iš procedūros teksto
- nurodo automatiškai į jūsų naršymo kalbą išverstą tekstą
XUV Piezo klasteris
Tventės universiteto MESA+ instituto "XUV Optics Group" yra linkusi investuoti į "XUV Piezo Cluster", kad atliktų pjezoelektrinių plėvelių jutiklių ir pavarų tyrimus. Tikslas yra padidinti pjezoelektrinės plėvelės dengimo galimybes iki didesnių pagrindo matmenų su pažangesnėmis proceso valdymo sistemomis, kurios leidžia ištirti platesnį proceso langą. XUV Piezo klasteris bus naudojamas grynų metalų, metalų oksidų ir pjezoelektrinių sluoksnių nusodinimui ant įvairių substratų, kurie bus toliau apdorojami naudojant fotolitografiją ir nusodinimo etapus MESA + Nanolab įrenginiuose. Toliau pateikiamas trumpas pajėgumų aprašymas: XUV Piezo klasteris turi gebėti apdoroti ne mažesnio kaip 200 mm skersmens substratus. XUV pjezoklasteryje turi būti pjezoelektrinio Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) sluoksnio nusodinimo kamera, kuri veikia kaip aktyvus sluoksnis jutikliams ir vykdikliams. XUV pjezo klasteryje turi būti kamera ar kameros gryniesiems metalams, pvz., Pt, auksui (Au) arba laidiesiems metalų oksidams, pvz., LaNiO3 arba SrRuO3 sluoksniams, nusodinti. XUV Piezo klasteris turi gebėti apipurkšti paprastai naudojamus Ti, Ta arba Cr sukibimo sluoksnius prieš gryno metalo sluoksnius. XUV Piezo klasteryje turi būti apkrovos fiksavimo kamera, skirta ėminiams greitai pakrauti ir baziniam slėgiui pasiekti. XUV Piezo klasteryje turi būti tiekimo kamera, leidžianti perkelti substratus iš vienos nusodinimo kameros į kitą nesuardant vakuumo. XUV Piezo klasteris turi būti toliau plečiamas, kad apimtų paruošiamojo apdorojimo kamerą, pvz., degazavimo arba ėsdinimo tikslais prieš nusodinant sluoksnius arba juos nusodinus. Visas technines specifikacijas galima rasti B priedėlyje „Paklausų ir pageidavimų sąrašas“. Konkurso dalyviai negali įgyti jokių teisių pagal orientacinę specifikaciją. Visos sumos nurodytos be PVM.
https://s2c.mercell.com/today/119146
https://s2c.mercell.com/today/119146
38000000 - Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius)
Šiame puslapyje skelbiamas turinys yra tik papildoma paslauga ir neturi teisinės galios. Europos Sąjungos institucijos nėra teisiškai atsakingos už jo turinį. Oficialios atitinkamų skelbimų apie pirkimą versijos yra paskelbtos Europos Sąjungos oficialiojo leidinio priede ir pateiktos TED. Oficialūs tekstai tiesiogiai prieinami naudojantis šiame puslapyje pateikiamomis nuorodomis. Daugiau informacijos rasite pranešime dėl viešųjų pirkimų paaiškinamumo ir atsakomybės.