Publications Office of the EU
XUV Piezo klasteris - ES konkursai
DisplayCustomHeader
Procurement Detail Actions Portlet
OP Portal - Procurement - Details

Šiame puslapyje yra automatiškai sukurtas turinys, siekiant pagerinti surandamumą ir prieinamumą

- nurodo BVPŽ kodus, išvestus iš procedūros teksto

- nurodo automatiškai į jūsų naršymo kalbą išverstą tekstą

XUV Piezo klasteris

  • Paskelbta
    11/11/2024
  • Galutinis terminas
    13/01/2025
  • Vokų su pasiūlymais atplėšimas
    14/01/2025
  • Šiandien
    01/09/2026
Būsena
Pateikimo termino pabaiga
Sutarties tipas
Supplies
Atnaujinta procedūra
No
Pirkėjas
Universiteit Twente
Sutarties vykdymo vieta
NUTS code: Kelios vykdymo vietos
Pirkėjo vieta
NUTS code: Nėra
Verslo sektorius (pagrindinis BVPŽ)
38000000 Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius)
Bendra numatoma sutarties vertė (be PVM)
1,900,000.00 EUR
Bendra galutinė sutarties vertė (be PVM)
Nėra
Pasiūlymo referencinis numeris
EB-OUT 6528
Aprašymas

Tventės universiteto MESA+ instituto "XUV Optics Group" yra linkusi investuoti į "XUV Piezo Cluster", kad atliktų pjezoelektrinių plėvelių jutiklių ir pavarų tyrimus. Tikslas yra padidinti pjezoelektrinės plėvelės dengimo galimybes iki didesnių pagrindo matmenų su pažangesnėmis proceso valdymo sistemomis, kurios leidžia ištirti platesnį proceso langą. XUV Piezo klasteris bus naudojamas grynų metalų, metalų oksidų ir pjezoelektrinių sluoksnių nusodinimui ant įvairių substratų, kurie bus toliau apdorojami naudojant fotolitografiją ir nusodinimo etapus MESA + Nanolab įrenginiuose. Toliau pateikiamas trumpas pajėgumų aprašymas: XUV Piezo klasteris turi gebėti apdoroti ne mažesnio kaip 200 mm skersmens substratus. XUV pjezoklasteryje turi būti pjezoelektrinio Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) sluoksnio nusodinimo kamera, kuri veikia kaip aktyvus sluoksnis jutikliams ir vykdikliams. XUV pjezo klasteryje turi būti kamera ar kameros gryniesiems metalams, pvz., Pt, auksui (Au) arba laidiesiems metalų oksidams, pvz., LaNiO3 arba SrRuO3 sluoksniams, nusodinti. XUV Piezo klasteris turi gebėti apipurkšti paprastai naudojamus Ti, Ta arba Cr sukibimo sluoksnius prieš gryno metalo sluoksnius. XUV Piezo klasteryje turi būti apkrovos fiksavimo kamera, skirta ėminiams greitai pakrauti ir baziniam slėgiui pasiekti. XUV Piezo klasteryje turi būti tiekimo kamera, leidžianti perkelti substratus iš vienos nusodinimo kameros į kitą nesuardant vakuumo. XUV Piezo klasteris turi būti toliau plečiamas, kad apimtų paruošiamojo apdorojimo kamerą, pvz., degazavimo arba ėsdinimo tikslais prieš nusodinant sluoksnius arba juos nusodinus. Visas technines specifikacijas galima rasti B priedėlyje „Paklausų ir pageidavimų sąrašas“. Konkurso dalyviai negali įgyti jokių teisių pagal orientacinę specifikaciją. Visos sumos nurodytos be PVM.

Pateikimo būdas
Elektroniniu būdu naudojant:
https://s2c.mercell.com/today/119146
Pasiūlymus galima teikti
Elektroninis pateikimas: leidžiama
https://s2c.mercell.com/today/119146
Informacija apie viešojo pirkimo sutartį, preliminariąją sutartį arba dinaminę pirkimo sistemą (DPS).
Nėra
Susipažinimo su pasiūlymais sąlygos (data)
14/01/2025 12:00
Sutarties vykdymo vieta
Award method
Nėra
Apskaičiuotoji vertė
1,900,000.00 EUR
Galutinė sutarties vertė
Nėra
Sutarties sudarymas
Nėra
Išankstinė informacija
Sutartis
Sutarties sudarymas
Footnote - legal notice

Šiame puslapyje skelbiamas turinys yra tik papildoma paslauga ir neturi teisinės galios. Europos Sąjungos institucijos nėra teisiškai atsakingos už jo turinį. Oficialios atitinkamų skelbimų apie pirkimą versijos yra paskelbtos Europos Sąjungos oficialiojo leidinio priede ir pateiktos TED. Oficialūs tekstai tiesiogiai prieinami naudojantis šiame puslapyje pateikiamomis nuorodomis. Daugiau informacijos rasite pranešime dėl viešųjų pirkimų paaiškinamumo ir atsakomybės.