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ICP-RIE-Plasmaätzanlage für cryogenes Trockenätzen von Silizium, Siliziumdioxid u.ä. - Gare d’appalto dell’UE
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OP Portal - Procurement - Details

ICP-RIE-Plasmaätzanlage für cryogenes Trockenätzen von Silizium, Siliziumdioxid u.ä.

Sintesi
  • Pubblicato
    03/12/2024
  • Termine
    09/01/2025
  • Apertura delle offerte
    09/01/2025
  • Aggiudicato
    26/02/2025
  • Oggi
    26/05/2026
Stato
Aggiudicati
Tipo di contratto
Supplies
Rinnovo
No
Committente
Friedrich-Schiller-Universität Jena
Luogo di esecuzione
NUTS code: Più luoghi di esecuzione
Sede del committente
NUTS code: DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt
Settore di attività (codice CPV principale)
38000000 Attrezzature da laboratorio, ottiche e di precisione (escluso vetri)
Valore totale stimato dell'appalto (IVA esclusa)
825,000.00 EUR
Valore totale finale dell'appalto (IVA esclusa)
681,300.00 EUR
Dettagli della procedura
Numero di riferimento dell'appalto
EU-OV/2024-71
Descrizione

Auftragsgegenstand ist eine ICP-RIE-Plasmaätzanlage für die Strukturierung mikro- und nanooptischer Elemente, konkret proportionales und binäres Plasmaätzen in dielektrische, halbleitende Materialien und Funktionsschichten (Quarzglas /fused silica, Silizium, SiOxNy , Siliziumkarbid, hochbrechende Materialien, wie Ta2O5, Nb2O5, etc.) mittels Fluor-basierter Reaktivgasprozesse auch bei, aber nicht ausschließlich kryogenen Temperaturen um -130°C. Die Anlage mit Beladeschleuse (Loadlock, LL) muss das Prozessieren variabler Substratgrößen mittels Carrier ohne großen Bearbeitungs und Zeitaufwand ermöglichen. Ein schneller, variabler Wechsel der Substratelektrodenkühlung zwischen Kühlung mittels Tiefkältethermostat und Flüssig-Stickstoff ist anzustreben. Zumindest muss aber die Möglichkeit einer nachträglichen Umrüstung auf Flüssigstickstoffkühlung ohne bauliche Änderung an der Substratelektrode gegeben sein. Weiteres siehe Anlage 2.

Modalità di presentazione
Per via elettronica:
https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=730992
Le offerte possono essere presentate
Presentazione elettronica: richiesto
https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=730992
Informazioni relative a un appalto pubblico, un accordo quadro o un sistema dinamico di acquisizione (SDA)
Non disponibile
Condizioni per l'apertura delle offerte (data)
09/01/2025 10:05
Luogo di esecuzione
DE Deutschland
DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt
Codice CPV

38000000 - Attrezzature da laboratorio, ottiche e di precisione (escluso vetri)

Metodo di aggiudicazione
Criterio:
Tipo: quality
Descrizione: 100
Ponderazione (percentuale, esatta): 1
Valore stimato
825,000.00 EUR
Valore finale dell'appalto
681,300.00 EUR
Aggiudicazione dell'appalto
Denominazione ufficiale: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Indirizzo postale:
Località: Krailling
Codice postale: 82152
Paese:
Documenti
Informazioni preliminari
Contratto d'appalto
Aggiudicazione
Footnote - legal notice

I contenuti pubblicati su questa pagina intendono essere un servizio aggiuntivo e non producono alcun effetto giuridico. Le istituzioni dell'Unione declinano ogni responsabilità per tali contenuti. Le versioni ufficiali dei relativi bandi o avvisi di gara sono quelle pubblicate nel supplemento della Gazzetta ufficiale dell'Unione europea e disponibili in TED. I testi ufficiali sono direttamente accessibili dai link inseriti in questa pagina. Per maggiori informazioni, consultare l'informativa sulla spiegabilità e la responsabilità negli appalti pubblici.