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Publié19/07/2019
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Date limite13/09/2019
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Annulé04/11/2019
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Aujourd’hui18/07/2026
Outils
- indique les codes CPV déduits du texte de la procédure
France-Grenoble: Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes
Le CEA-LETI souhaite acquérir un système de détection de fin d’attaque optique à longueurs d’onde multiples pour des opérations de polissage mécano-chimique (CMP). Ce système sera utilisé pour des applications micro-électroniques Front-End sur des matériaux tels que le silicium ou l’oxyde de silicium. Ce système sera installé sur un équipement de CMP Applied Materials LK Prime actuellement en service dans la salle blanche du CEA-LETI.
Nom officiel: CEA — Grenoble
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Localité: Grenoble
Code NUTS: FRK24
Code postal: 38054
Pays: FRA
Personne de contact Mme A. Mangin
Adresse principale: www.cea.fr
Électronique par:
https://www.marches-publics.gouv.fr
31712000 - Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes
38000000 - Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes)
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