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ICP-RIE-Plasmaätzanlage für cryogenes Trockenätzen von Silizium, Siliziumdioxid u.ä. - Appels d’offres de l’UE
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OP Portal - Procurement - Details

ICP-RIE-Plasmaätzanlage für cryogenes Trockenätzen von Silizium, Siliziumdioxid u.ä.

Vue d’ensemble
  • Publié
    03/12/2024
  • Date limite
    09/01/2025
  • Ouverture des offres
    09/01/2025
  • Attribué
    26/02/2025
  • Aujourd’hui
    27/05/2026
Statut
Attribué
Type de marché
Supplies
Procédure renouvelée
No
Acheteur
Friedrich-Schiller-Universität Jena
Lieu d’exécution
NUTS code: Plusieurs lieux d’exécution
Localisation de l’acheteur
NUTS code: DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt
Secteur commercial (CPV)
38000000 Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes)
Montant total estimé du marché (hors TVA)
825,000.00 EUR
Valeur finale totale du marché (hors TVA)
681,300.00 EUR
Détails de la procédure
Numéro de référence de l’offre
EU-OV/2024-71
Description

Auftragsgegenstand ist eine ICP-RIE-Plasmaätzanlage für die Strukturierung mikro- und nanooptischer Elemente, konkret proportionales und binäres Plasmaätzen in dielektrische, halbleitende Materialien und Funktionsschichten (Quarzglas /fused silica, Silizium, SiOxNy , Siliziumkarbid, hochbrechende Materialien, wie Ta2O5, Nb2O5, etc.) mittels Fluor-basierter Reaktivgasprozesse auch bei, aber nicht ausschließlich kryogenen Temperaturen um -130°C. Die Anlage mit Beladeschleuse (Loadlock, LL) muss das Prozessieren variabler Substratgrößen mittels Carrier ohne großen Bearbeitungs und Zeitaufwand ermöglichen. Ein schneller, variabler Wechsel der Substratelektrodenkühlung zwischen Kühlung mittels Tiefkältethermostat und Flüssig-Stickstoff ist anzustreben. Zumindest muss aber die Möglichkeit einer nachträglichen Umrüstung auf Flüssigstickstoffkühlung ohne bauliche Änderung an der Substratelektrode gegeben sein. Weiteres siehe Anlage 2.

Mode de soumission
Électronique par:
https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=730992
Les offres peuvent être soumises
Soumission électronique: nécessaire
https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=730992
Informations sur un marché public, un accord-cadre ou un système d’acquisition dynamique (SAD)
Non disponible
Conditions d’ouverture des offres (date)
09/01/2025 10:05
Lieu d’exécution
DE Deutschland
DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt
Code CPV

38000000 - Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes)

Méthode d’attribution
Critère:
Type: quality
Description: 100
Pondération (pourcentage, valeur exacte) : 1
Valeur estimée
825,000.00 EUR
Valeur finale du marché
681,300.00 EUR
Attribution du marché
Nom officiel: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Adresse postale:
Localité: Krailling
Code postal: 82152
Pays:
Documents
Préinformation
Marché
Attribution
Footnote - legal notice

Le contenu publié sur cette page constitue uniquement une source d’information supplémentaire et n’a aucun effet juridique. Les institutions de l'Union déclinent toute responsabilité quant à son contenu. Les versions officielles des avis de marché concernés sont celles qui sont publiées au supplément du Journal officiel de l’Union européenne et qui sont disponibles sur TED. Ces textes officiels peuvent être consultés directement en cliquant sur les liens qui figurent sur cette page. Pour en savoir plus, lire l’avis sur l’explicabilité et la responsabilité en matière de marchés publics.