Matalan lämpötilan läpivientien metallitäyttöön tarkoitettujen pinnoituslaitteiden toimittaminen

Selauskielellesi automaattisesti käännetty teksti

Tutkimustoiminnassaan, jonka tavoitteena on kehittää 10 nm: n FDSOI-teknologioita ja sen jälkeen, CEA-Leti haluaa hankkia laitteita, jotka on omistettu matalan lämpötilan vias-metallin täyttöön, muistisovelluksiin ja valkoiseen tilaansa. Laitteessa voidaan käyttää 300 mm: n kiekkoja, ja se on tarkoitettu erittäin vaatimustenmukaisen hienon volframikalvon pinnoitukseen injektiopulloissa, joilla on korkea muotokerroin. Suunniteltuun sopimukseen sisältyy yksi vaihtoehto, johon sisältyy pakollinen salaus, ja neljä vaihtoehtoa, joihin sisältyy valinnainen salaus: - Vaihtoehto, jossa on pakollinen luettelointi: . Vaihtoehto 3 (vapaaehtoinen palvelu): Huoltokoulutustaso 1 – Valinnaiset vaihtoehdot, joissa on valinnainen luettelointi: . Vaihtoehto 1 (vapaaehtoinen toimitus): Lämmönvaihtimet / jäähdyttimet . Vaihtoehto 2 (vapaaehtoinen toimitus): . Virtalähteen muuntaja Vaihtoehto 4 (vapaaehtoinen palvelu): Kehittynyt huoltokoulutus . Vaihtoehto 5 (vapaaehtoinen palvelu): Yhden vuoden takuun pidennys

31712100 - Mikroelektroniset koneet ja laitteet