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Strukturierungs- und Beobachtungssystem auf Basis einer Plasma-Ionensäule und einer Elektronensäule zur Beobachtung, sowie kontaminationsarmen Präparation großer Probenbereiche mit hohen Abtragsraten - EU tenders
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Strukturierungs- und Beobachtungssystem auf Basis einer Plasma-Ionensäule und einer Elektronensäule zur Beobachtung, sowie kontaminationsarmen Präparation großer Probenbereiche mit hohen Abtragsraten

  • Published
    12/05/2025
  • Today
    21/06/2025
  • Deadline
    24/06/2025
Status
Published
Type of contract
Supplies
Subject for Renewal
No
Buyer
Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, Zentrale Vergabestelle
Place of performance
NUTS code: Multiple place of performance
Location of buyer
NUTS code: DEG0F Ilm-Kreis
Business sector (Main CPV)
38511100 Scanning electron microscopes
Total estimated contract value (excluding VAT)
Not available
Total final contract value (excluding VAT)
Not available
Tender reference number
TU-025/25-201-ZMN
Description

Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme einer flexibel einsetzbaren modernen Plasma-FIB (PFIB), wel-che die Möglichkeit der kontaminationsarmen Präparation von Strukturen über größere Probenbe-reiche mit hoher Abtragsrate besitzt. Diese hohen Abtragsraten sind für die effiziente Herstellung und Charakterisierung von verschiedenen z.T. integrierten Strukturen in unterschiedlichen Größens-kalen von Bedeutung. Mit der geplanten Anlage sollen großflächige Strukturen durch gezielte Feinstrukturierung in Mikro- und Nanometerdimension (sowohl lateral als auch in die Tiefe) hergestellt werden. Unter anderem werden damit sowohl die grundlagenbasierte Forschung im Bereich der quanten-photonisch inte-grierten Systeme (Q-PICs) vorangetrieben als auch durch die Kombination der verschiedenen tech-nologischen Konzepte mikroelektronische Systeme direkt mit Q-PICs verknüpft. Gleichzeitig soll das Gerät die Möglichkeit der Lamellenpräparation für die Transmissionselektronen-mikroskopie (TEM) unterstützen und dabei die dafür nötige Präzision auch für die Oberflächenstruk-turierung größerer Dimensionen an den Grenzen der physikalisch-technischen Realisierbarkeit be-reitstellen. Zusätzlich kann die Anlage zur Charakterisierung von Proben mit Hilfe der elektronenstrahlbasierten Abbildung verwendet werden, welche sowohl in situ (während der Strukturierung) als auch vor/nach der Strukturierung möglich ist. Dies erfolgt in der gesamten Technologiekette.

Submission Method
Electronic via:
https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=771462
Tenders may be submitted
Electronic submission: required
https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=771462
Information about a public contract, a framework agreement or a dynamic purchasing system (DPS)
Not available
Conditions for opening tenders (date)
Not available
Place of performance
Award method
Not available
Estimated value
Not available
Final contracted value
Not available
Award of contract
Not available
Prior information
Contract
Award
Footnote - legal notice

This content published on this page is meant purely as an additional service and has no legal effect. The Union's institutions do not assume any liability for its contents. The official versions of the relevant tendering notices are those published in the Supplement of Official Journal of the European Union and available in TED. Those official texts are directly accessible through the links embedded in this page. For more information please see Public Procurement Explainability and Liability notice.