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ALD-Anlage - EU tenders
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OP Portal - Procurement - Details

ALD-Anlage

Overview
  • Published
    08/07/2026
  • Today
    07/08/2026
  • Deadline
    11/08/2026
  • Opening of tenders
    11/08/2026
Status
Published
Type of contract
Supplies
Subject for Renewal
No
Buyer
Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
Place of performance
NUTS code: Multiple place of performance
Location of buyer
NUTS code: DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt
Business sector (Main CPV)
38000000 38000000
Total estimated contract value (excluding VAT)
461,344.00 EUR
Total final contract value (excluding VAT)
Not available
Procedure details
Tender reference number
01.26.O.00
Description

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.

Submission Method
Electronic via:
https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRM3BQ
Tenders may be submitted
Electronic submission: required
https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRM3BQ
Information about a public contract, a framework agreement or a dynamic purchasing system (DPS)
Not available
Conditions for opening tenders (date)
11/08/2026 13:10
Place of performance
Germany
DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt
CPV code

38000000 - 38000000

Award method
Preis
Estimated value
461,344.00 EUR
Final contracted value
Not available
Award of contract
Not available
Documents
Prior information
Contract
Award
Footnote - legal notice

This content published on this page is meant purely as an additional service and has no legal effect. The Union's institutions do not assume any liability for its contents. The official versions of the relevant tendering notices are those published in the Supplement of Official Journal of the European Union and available in TED. Those official texts are directly accessible through the links embedded in this page. For more information please see Public Procurement Explainability and Liability notice.