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ICP-RIE-Plasmaätzanlage für cryogenes Trockenätzen von Silizium, Siliziumdioxid u.ä. - EU tenders
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OP Portal - Procurement - Details

ICP-RIE-Plasmaätzanlage für cryogenes Trockenätzen von Silizium, Siliziumdioxid u.ä.

Overview
  • Published
    03/12/2024
  • Deadline
    09/01/2025
  • Opening of tenders
    09/01/2025
  • Awarded
    26/02/2025
  • Today
    14/05/2026
Status
Awarded
Type of contract
Supplies
Subject for Renewal
No
Buyer
Friedrich-Schiller-Universität Jena
Place of performance
NUTS code: Multiple place of performance
Location of buyer
NUTS code: DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt
Business sector (Main CPV)
38000000 Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)
Total estimated contract value (excluding VAT)
825,000.00 EUR
Total final contract value (excluding VAT)
681,300.00 EUR
Procedure details
Tender reference number
EU-OV/2024-71
Description

Auftragsgegenstand ist eine ICP-RIE-Plasmaätzanlage für die Strukturierung mikro- und nanooptischer Elemente, konkret proportionales und binäres Plasmaätzen in dielektrische, halbleitende Materialien und Funktionsschichten (Quarzglas /fused silica, Silizium, SiOxNy , Siliziumkarbid, hochbrechende Materialien, wie Ta2O5, Nb2O5, etc.) mittels Fluor-basierter Reaktivgasprozesse auch bei, aber nicht ausschließlich kryogenen Temperaturen um -130°C. Die Anlage mit Beladeschleuse (Loadlock, LL) muss das Prozessieren variabler Substratgrößen mittels Carrier ohne großen Bearbeitungs und Zeitaufwand ermöglichen. Ein schneller, variabler Wechsel der Substratelektrodenkühlung zwischen Kühlung mittels Tiefkältethermostat und Flüssig-Stickstoff ist anzustreben. Zumindest muss aber die Möglichkeit einer nachträglichen Umrüstung auf Flüssigstickstoffkühlung ohne bauliche Änderung an der Substratelektrode gegeben sein. Weiteres siehe Anlage 2.

Submission Method
Electronic via:
https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=730992
Tenders may be submitted
Electronic submission: required
https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=730992
Information about a public contract, a framework agreement or a dynamic purchasing system (DPS)
Not available
Conditions for opening tenders (date)
09/01/2025 10:05
Place of performance
DE Deutschland
DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt
CPV code

38000000 - Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)

Award method
Criterion:
Type: quality
Description: 100
Weight (percentage, exact): 1
Estimated value
825,000.00 EUR
Final contracted value
681,300.00 EUR
Award of contract
Official name: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Postal address:
Town: Krailling
Postal code: 82152
Country:
Documents
Prior information
Contract
Award
Footnote - legal notice

This content published on this page is meant purely as an additional service and has no legal effect. The Union's institutions do not assume any liability for its contents. The official versions of the relevant tendering notices are those published in the Supplement of Official Journal of the European Union and available in TED. Those official texts are directly accessible through the links embedded in this page. For more information please see Public Procurement Explainability and Liability notice.