Laser lithography system Text automatically translated in your browsing language Automatically translated

EU-OV/2025-10

Friedrich Schiller University Jena intends to purchase one (1) laser lithography system for its scientific activities, which must at least meet the technical performance parameters described in Annex 2. Text automatically translated in your browsing language Automatically translated

Electronic via:
https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=730992

Electronic submission: required
https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=730992

Not available

07/03/2025 10:05

DE Deutschland
DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt

38000000 - Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)

38630000 - Astronomical and optical instruments CVP code deduced from the text of the procedure AI-generated

38636000 - Specialist optical instruments CVP code deduced from the text of the procedure AI-generated

Criterion:
Type: quality
Description: (2) weitere Kriterien gemäß Anlage 2 (B-Kriterien) /max. 42 % (42 Wertungspunkte): o Stitching-Test, mittlere Strukturgröße: Bewertung sphärische Form: 0 Punkte (Ausschluss): P-V-Wert Abweichung von Best-Fit-Sphäre > 4,0 µm 2 Punkte: P-V-Wert Abweichung von Best-Fit-Sphäre < 4,0 µm 4 Punkte: P-V-Wert Abweichung von Best-Fit-Sphäre < 2,0 µm 6 Punkte: P-V-Wert Abweichung von Best-Fit-Sphäre < 0,8 µm Bewertung Oberflächenrauheit Ra: 0 Punkte (Ausschluss): Ra > 20 nm 2 Punkte: Ra < 20 nm 4 Punkte: Ra < 15 nm 6 Punkte: Ra < 10 nm o Stitching-Test, kleine Strukturgröße: Bewertung Formtreue/Welligkeit: 0 Punkte (Ausschluss): P-V-Wert Abweichung Linearität > 100 nm 2 Punkte: P-V-Wert Abweichung Linearität < 100 nm 4 Punkte: P-V-Wert Abweichung Linearität < 50 nm 6 Punkte: P-V-Wert Abweichung Linearität < 25 nm Bewertung Oberflächenrauheit Ra: 0 Punkte (Ausschluss): Ra > 20 nm 2 Punkte: Ra < 20 nm 4 Punkte: Ra < 15 nm 6 Punkte: Ra < 10 nm o Automatischer Alignment-Test und Dosiertest: Bewertung Absoluter Versatz: 0 Punkte (Ausschluss): Absoluter Versatz > 1,5 µm 2 Punkte: Absoluter Versatz < 1,5 µm 4 Punkte: Absoluter Versatz < 1,0 µm 6 Punkte: Absoluter Versatz < 0,8 µm Bewertung Kantenrauigkeit: 0 Punkte (Ausschluss): Kantenrauigkeit > 1000 nm 2 Punkte: Kantenrauigkeit < 1000 nm 4 Punkte: Kantenrauigkeit < 800 nm 6 Punkte: Kantenrauigkeit < 400 nm Bewertung Positionsabstand Kreuzmarken 125,0 mm: 0 Punkte (Ausschluss): Abweichung >500 µm 2 Punkte: Abweichung < 500 µm 4 Punkte: Abweichung < 250 µm 6 Punkte: Abweichung < 50 µm
Weight (percentage, exact):

Not available

Not available

Not available