-
Δημοσιεύτηκε14/10/2022
-
Προθεσμία11/11/2022
-
Αποσφράγιση των προσφορών12/11/2022
-
Ανατέθηκαν17/02/2023
-
Σήμερα16/07/2026
Χρήσιμες λειτουργίες
Σουηδία-Lund: Εξοπλισμός εργαστηριακός, οπτικός και ακριβείας (εκτός από γυαλιά)
Scope
Lund Nano Lab is planning to purchase an automated wafer processing cluster tool for spin coating and development. This system must contain process automation and be capable of performing sample preparation including adhesion promotion HMDS coating, resist spin-coating, sample baking and automated wet chemical development with minimum manual handling, via user-defined recipes. The system must be capable of handling several of our most sensitive and commonly used resists. A key attribute of the system will be the ability to form uniform and repeatable resist coating results and highly controlled development times of wafers post-exposure.
The tool must also contain several hotplates so that different temperatures can be programed simultaneously, and samples are transferred to these without user intervention via robotic arms.
https://tendsign.com/doc.aspx?UniqueId=afmyaxhrax&GoTo=Tender
Ταχυδρομική διεύθυνση: Europastraße 8
Πόλη: Villach / Austria
Ταχυδρομικός κώδικας: A-9524
Χώρα: AUT
Το περιεχόμενο αυτό που δημοσιεύεται σ’ αυτή τη σελίδα αποτελεί απλώς πρόσθετη υπηρεσία και δεν παράγει έννομα αποτελέσματα. Τα θεσμικά όργανα της Ένωσης δεν φέρουν καμία ευθύνη για το περιεχόμενό του. Οι επίσημες εκδόσεις των σχετικών προκηρύξεων διαγωνισμών είναι εκείνες που δημοσιεύονται στο συμπλήρωμα της Επίσημης Εφημερίδας της Ευρωπαϊκής Ένωσης και είναι διαθέσιμες στον ιστότοπο TED. Αυτά τα επίσημα κείμενα είναι άμεσα προσβάσιμα μέσω των συνδέσμων που περιέχονται στην παρούσα σελίδα. Για περισσότερες πληροφορίες, ανατρέξτε στην ανακοίνωση για την εξηγησιμότητα και την ευθύνη στον τομέα των δημόσιων συμβάσεων.