-
Δημοσιεύτηκε11/11/2024
-
Προθεσμία13/01/2025
-
Αποσφράγιση των προσφορών14/01/2025
-
Σήμερα14/10/2026
Χρήσιμες λειτουργίες
- αναφέρει τους κωδικούς CPV που προκύπτουν από το κείμενο της διαδικασίας
- αναφέρει κείμενο που μεταφράζεται αυτόματα στη γλώσσα περιήγησης
Σύμπλεγμα XUV Piezo
Η XUV Optics Group στο Ινστιτούτο MESA+ στο Πανεπιστήμιο του Twente τείνει να επενδύσει στο XUV Piezo Cluster για να διεξάγει έρευνα σε πιεζοηλεκτρικούς αισθητήρες και ενεργοποιητές ταινιών. Στόχος είναι να αυξηθούν οι δυνατότητες επικάλυψης πιεζοηλεκτρικών ταινιών σε μεγαλύτερες διαστάσεις υποστρώματος με πιο προηγμένα συστήματα ελέγχου διεργασίας που επιτρέπουν την εξερεύνηση ενός ευρύτερου παραθύρου διαδικασίας. Το XUV Piezo Cluster θα χρησιμοποιηθεί για την εναπόθεση καθαρών μετάλλων, μεταλλικών οξειδίων και πιεζοηλεκτρικών στρωμάτων σε διάφορα υποστρώματα για περαιτέρω επεξεργασία με τη χρήση φωτολιθογραφίας και βημάτων εναπόθεσης στις εγκαταστάσεις MESA+ Nanolab. Σύντομη περιγραφή των δυνατοτήτων περιγράφεται παρακάτω: Ο σχηματισμός XUV Piezo πρέπει να είναι ικανός να επεξεργάζεται υποστρώματα διαμέτρου τουλάχιστον 200 mm. Ο σχηματισμός XUV Piezo περιλαμβάνει θάλαμο εναπόθεσης πιεζοηλεκτρικού στρώματος Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) που λειτουργεί ως ενεργό στρώμα για εφαρμογές αισθητήρων και ενεργοποιητών. Το σύμπλεγμα XUV Piezo περιλαμβάνει θάλαμο ή θαλάμους εναπόθεσης καθαρών μετάλλων όπως Pt, χρυσό (Au) ή αγώγιμα μεταλλικά οξείδια, όπως τα στρώματα LaNiO3 ή SrRuO3. Το σύμπλεγμα XUV Piezo πρέπει να έχει την ικανότητα να εκτοξεύει τα συνήθως χρησιμοποιούμενα στρώματα πρόσφυσης Ti, Ta ή Cr που προηγούνται των καθαρών μεταλλικών στρωμάτων. Το σύμπλεγμα XUV Piezo πρέπει να περιλαμβάνει θάλαμο κλειδώματος φορτίου για γρήγορη φόρτωση δείγματος και επίτευξη της πίεσης βάσης. Ο σχηματισμός XUV Piezo περιλαμβάνει θάλαμο μεταφοράς που επιτρέπει τη μεταφορά υποστρωμάτων μεταξύ των θαλάμων εναπόθεσης χωρίς να σπάσει το κενό. Ο σχηματισμός XUV Piezo πρέπει να είναι περαιτέρω επεκτάσιμος ώστε να περιλαμβάνει θάλαμο προεπεξεργασίας για σκοπούς όπως η απαέρωση ή η χάραξη πριν ή μετά την εναπόθεση των στρωμάτων. Οι πλήρεις τεχνικές προδιαγραφές βρίσκονται στο παράρτημα Β: Πίνακας απαιτήσεων και ευχών. Οι προσφέροντες δεν μπορούν να αντλήσουν δικαιώματα από την ενδεικτική προδιαγραφή. Όλα τα ποσά προσδιορίζονται εξαιρουμένου του ΦΠΑ.
https://s2c.mercell.com/today/119146
https://s2c.mercell.com/today/119146
38000000 - Εξοπλισμός εργαστηριακός, οπτικός και ακριβείας (εκτός από γυαλιά)
45000000 - Κατασκευαστικές εργασίες
Το περιεχόμενο αυτό που δημοσιεύεται σ’ αυτή τη σελίδα αποτελεί απλώς πρόσθετη υπηρεσία και δεν παράγει έννομα αποτελέσματα. Τα θεσμικά όργανα της Ένωσης δεν φέρουν καμία ευθύνη για το περιεχόμενό του. Οι επίσημες εκδόσεις των σχετικών προκηρύξεων διαγωνισμών είναι εκείνες που δημοσιεύονται στο συμπλήρωμα της Επίσημης Εφημερίδας της Ευρωπαϊκής Ένωσης και είναι διαθέσιμες στον ιστότοπο TED. Αυτά τα επίσημα κείμενα είναι άμεσα προσβάσιμα μέσω των συνδέσμων που περιέχονται στην παρούσα σελίδα. Για περισσότερες πληροφορίες, ανατρέξτε στην ανακοίνωση για την εξηγησιμότητα και την ευθύνη στον τομέα των δημόσιων συμβάσεων.