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Deutschland-Mittweida: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke - Ausschreibungen der EU
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- Weist auf CPV-Codes hin, die aus dem Text des Verfahrens abgeleitet wurden

Deutschland-Mittweida: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Überblick
  • Veröffentlicht
    02/07/2014
  • Frist
    29/08/2014
  • Vergeben
    26/09/2014
  • Heute
    16/08/2026
Status
Vergeben
Art des Auftrags
Supplies
Neuausschreibung
No
Käufer
Hochschule Mittweida
Erfüllungsort
NUTS code: DED43 Mittelsachsen
Standort des Käufers
NUTS code: Nicht verfügbar
Wirtschaftszweig (Haupt-CPV)
42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Geschätzter Gesamtauftragswert (ohne MwSt.)
850,000.00 EUR
Endgültiger Gesamtauftragswert (ohne MwSt.)
849,000.00 EUR
Angaben zum Verfahren
Referenznummer der Ausschreibung
EU-AS-01/14
Beschreibung

Ausgehend von konzeptionellen Vorarbeiten des Auftraggebers ist eine Ultrahochvakuum-Beschichtungsanlage für die Laserpulsabscheidung (PLD) von dünnen Schichten und Mehrschichtsystemen zu konstruieren und zu bauen. Die Anlage soll die aufeinander folgende Beschichtung von wenigstens 5 ebenen Substraten mit 4 Zoll Durchmesser mit dickenhomogenen, kontaminations- und partikulatfreien Schichtstapeln aus 10 verschiedenen Materialien im Ultrahochvakuum ermöglichen. Sie soll modular aufgebaut sein, das heißt aus einer Beschickungs- und Entnahmekammer und zwei Beschichtungskammern bestehen, wobei der Transport des zu beschichtenden Substrats aus einem Substratmagazin in der Beschickungs- und Entnahmekammer wahlweise in eine der Beschichtungskammern über Schleusen zu realisieren ist. In der Beschichtungskammer 1 werden Target und Substrat parallel zueinander in einem vorgegebenen Abstand angeordnet, wie es für das PLD-Verfahren üblich ist. Die Beschichtungskammer 2 soll aus zwei Teilkammern (Targetkammer und Substratkammer) mit einem dazwischen angeordneten 90° Magnetspulenablenksystem bestehen, so dass dementsprechend Target und Substrat senkrecht zueinander angeordnet sind. Jede Kammer ist mit einem Targetwechsler und einem heiz- und kühlbaren Substrathalter mit Substratbewegungssystem ausgestattet, so dass in beiden Kammern unabhängig von einander ohne Umbauten alternierend beschichtet werden kann. Target (bzw. Targetwechsler) und Substrat müssen sich auf einem computergesteuerten Target- bzw. Substratbewegungssystem angeordnet sein. Darüber hinaus sind Ionenquellen für die Substratreinigung, den Ionenbeschuss aufwachsender Schichten und die Reinhaltung der Einkoppelfenster für die Laserstrahlen sowie ein in-situ Ellipsometer für die Kontrolle des Schichtwachstums und Geräte (Pyrometer und Thermoelemente) für die Substrattemperaturmessung zu implementieren. Außerdem soll die vollautomatische Steuerung des Beschichtungsprozesses möglich sein. Laser und Optiken für die Laser sind nicht Bestandteil der Ausschreibung.

Einreichungsmethode
Nicht verfügbar
Form, in der die Angebote einzureichen sind
Submission for all lots
Informationen über einen öffentlichen Auftrag, eine Rahmenvereinbarung oder ein dynamisches Beschaffungssystem
Die Bekanntmachung betrifft einen öffentlichen Auftrag.
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Datum)
Nicht verfügbar
Erfüllungsort
DED43 Mittelsachsen
CPV-Code

42990000 - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

38000000 - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Vergabemethode
The most economic tender
Geschätzter Wert
850,000.00 EUR
Endgültiger Auftragswert
849,000.00 EUR
Auftragsvergabe
Offizielle Bezeichnung: Creavac Creative Vakuumbeschichtung GmbH
Postanschrift: Löbtauer Straße 65-71
Ort: Dresden
Postleitzahl: 01159
Land: DEU
Unterlagen
Vorinformation
Auftrag
Vergabe
Footnote - legal notice

Der auf dieser Seite veröffentlichte Inhalt ist ausschließlich als zusätzliche Informationsquelle gedacht und entfaltet keinerlei Rechtswirkung. Die Organe der Union übernehmen keine Haftung für seinen Inhalt. Die amtlichen Fassungen der jeweiligen Ausschreibungsbekanntmachungen sind in der Ergänzung zum Amtsblatt der Europäischen Union veröffentlicht und in TED verfügbar. Diese amtlichen Texte sind über die Links auf dieser Seite unmittelbar zugänglich. Weitere Informationen sind der Bekanntmachung über die Erklärbarkeit und Haftung des öffentlichen Auftragswesens zu entnehmen.