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Veröffentlicht14/10/2022
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Frist11/11/2022
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Öffnung der Angebote12/11/2022
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Vergeben17/02/2023
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Heute31/07/2026
Hilfsprogramme
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Schweden-Lund: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Geltungsbereich
Lund Nano Lab plant den Kauf eines automatisierten Wafer-Verarbeitungs-Cluster-Tools für die Spin-Beschichtung und -Entwicklung. Dieses System muss Prozessautomatisierung enthalten und in der Lage sein, die Probenvorbereitung einschließlich Haftförderung HMDS-Beschichtung durchzuführen, Spin-Beschichtung, Probenbacken und automatisierte nasschemische Entwicklung mit minimaler manueller Handhabung über benutzerdefinierte Rezepturen zu widerstehen. Das System muss in der Lage sein, mehrere unserer empfindlichsten und am häufigsten verwendeten Widerstände zu handhaben. Ein Schlüsselmerkmal des Systems wird die Fähigkeit sein, gleichmäßige und wiederholbare Resist-Beschichtungsergebnisse und stark kontrollierte Entwicklungszeiten von Wafern nach der Belichtung zu bilden.
Das Werkzeug muss auch mehrere Heizplatten enthalten, so dass verschiedene Temperaturen gleichzeitig programmiert werden können, und Proben werden ohne Benutzereingriff über Roboterarme auf diese übertragen.
https://tendsign.com/doc.aspx?UniqueId=afmyaxhrax&GoTo=Tender
Postanschrift: Europastraße 8
Ort: Villach / Austria
Postleitzahl: A-9524
Land: AUT
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