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Veröffentlicht29/04/2011
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Frist27/05/2011
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Heute15/09/2026
Hilfsprogramme
F-Grenoble: Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme
Dans le cadre de ses activités de recherche le LITEN-DTNM souhaite s’équiper d’une piste de dépôt de 2 passivations pour wafer silicium 200 mm avec des pompes de dispense pour deux passivations, pour les détourages, et pour les nettoyages de face arrière et des plaques chauffantes jusqu’à 250 deg C. De plus, l’équipement devra inclure des stations de refroidissement.
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