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Lieferung von Lagereinrichtungen für die Metallbefüllung von Durchkontaktierungen bei niedrigen Temperaturen - Ausschreibungen der EU
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Lieferung von Lagereinrichtungen für die Metallbefüllung von Durchkontaktierungen bei niedrigen Temperaturen

Überblick
  • Veröffentlicht
    01/07/2026
  • Frist
    31/07/2026
  • Heute
    09/09/2026
Status
Keine Einreichungen mehr möglich
Art des Auftrags
Supplies
Neuausschreibung
No
Käufer
CEA Grenoble
Erfüllungsort
NUTS code: Mehrere Erfüllungsorte
Standort des Käufers
NUTS code: FRK24 Isère
Wirtschaftszweig (Haupt-CPV)
31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte
Geschätzter Gesamtauftragswert (ohne MwSt.)
Nicht verfügbar
Endgültiger Gesamtauftragswert (ohne MwSt.)
Nicht verfügbar
Angaben zum Verfahren
Referenznummer der Ausschreibung
B26-02145-CMF
Beschreibung

Für seine Forschungstätigkeiten, die auf die Entwicklung von 10nm-FDSOI-Technologien und darüber hinaus abzielen, möchte CEA-Leti eine spezielle Ausrüstung für die Metallfüllung von Durchkontaktierungen bei niedrigen Temperaturen für Speicheranwendungen für seinen Weißraum erwerben. Die Ausrüstung muss in der Lage sein, 300-mm-Wafer zu verwenden, und ist für die Abscheidung von hochkonformem Wolfram-Feinfilm in Vias mit einem hohen Formfaktor vorgesehen. Der geplante Auftrag umfasst eine obligatorische Verschlüsselungsoption und vier optionale Verschlüsselungsoptionen: - Option mit obligatorischer Verschlüsselung: . Option 3 (optionale Leistung): Instandhaltungsschulung Stufe 1 – Optionen mit optionaler Verschlüsselung: . Option 1 (optionale Lieferung): Wärmetauscher / Kühler . Option 2 (optionale Lieferung): Leistungstransformator . Option 4 (optionale Leistung): . Advanced Maintenance Training (Fortgeschrittene Instandhaltungsschulung) Option 5 (optionale Leistung): Garantieverlängerung um ein Jahr

Einreichungsmethode
Elektronisch über:
https://www.marchespublics.gouv.fr
Form, in der die Angebote einzureichen sind
Elektronische Einreichung: erforderlich
https://www.marchespublics.gouv.fr
Informationen über einen öffentlichen Auftrag, eine Rahmenvereinbarung oder ein dynamisches Beschaffungssystem
Nicht verfügbar
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Datum)
Nicht verfügbar
Erfüllungsort
FRK24 Isère
FR France
CPV-Code

31712100 - Mikroelektronische Maschinen und Geräte

Vergabemethode
Kriterium:
Art: price
Beschreibung: Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché.
Gewichtung (Prozentanteil, genau) :
Geschätzter Wert
Nicht verfügbar
Endgültiger Auftragswert
Nicht verfügbar
Auftragsvergabe
Nicht verfügbar
Unterlagen
Vorinformation
Auftrag
Vergabe
Footnote - legal notice

Der auf dieser Seite veröffentlichte Inhalt ist ausschließlich als zusätzliche Informationsquelle gedacht und entfaltet keinerlei Rechtswirkung. Die Organe der Union übernehmen keine Haftung für seinen Inhalt. Die amtlichen Fassungen der jeweiligen Ausschreibungsbekanntmachungen sind in der Ergänzung zum Amtsblatt der Europäischen Union veröffentlicht und in TED verfügbar. Diese amtlichen Texte sind über die Links auf dieser Seite unmittelbar zugänglich. Weitere Informationen sind der Bekanntmachung über die Erklärbarkeit und Haftung des öffentlichen Auftragswesens zu entnehmen.