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Veröffentlicht19/07/2019
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Frist13/09/2019
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Annulliert04/11/2019
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Heute17/07/2026
Hilfsprogramme
- Weist auf CPV-Codes hin, die aus dem Text des Verfahrens abgeleitet wurden
Frankreich-Grenoble: Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme
Le CEA-LETI souhaite acquérir un système de détection de fin d’attaque optique à longueurs d’onde multiples pour des opérations de polissage mécano-chimique (CMP). Ce système sera utilisé pour des applications micro-électroniques Front-End sur des matériaux tels que le silicium ou l’oxyde de silicium. Ce système sera installé sur un équipement de CMP Applied Materials LK Prime actuellement en service dans la salle blanche du CEA-LETI.
Offizielle Bezeichnung: CEA — Grenoble
Postanschrift: 17 rue des Martyrs
Ort: Grenoble
NUTS-Code FRK24
Postleitzahl: 38054
Land: FRA
Kontaktperson: Mme A. Mangin
Hauptadresse: www.cea.fr
Elektronisch über:
https://www.marches-publics.gouv.fr
31712000 - Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme
38000000 - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
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