-
Offentliggjort14/10/2022
-
Frist11/11/2022
-
Åbning af tilbuddene12/11/2022
-
Tildelt17/02/2023
-
I dag15/07/2026
Værktøjer
Sverige-Lund: Laboratorieudstyr, optisk udstyr og præcisionsudstyr (ikke briller)
Scope
Lund Nano Lab is planning to purchase an automated wafer processing cluster tool for spin coating and development. This system must contain process automation and be capable of performing sample preparation including adhesion promotion HMDS coating, resist spin-coating, sample baking and automated wet chemical development with minimum manual handling, via user-defined recipes. The system must be capable of handling several of our most sensitive and commonly used resists. A key attribute of the system will be the ability to form uniform and repeatable resist coating results and highly controlled development times of wafers post-exposure.
The tool must also contain several hotplates so that different temperatures can be programed simultaneously, and samples are transferred to these without user intervention via robotic arms.
https://tendsign.com/doc.aspx?UniqueId=afmyaxhrax&GoTo=Tender
Postadresse: Europastraße 8
By: Villach / Austria
Postnummer: A-9524
Land: AUT
Det indhold, der offentliggøres på denne side, er udelukkende tænkt som en supplerende tjeneste og har ingen retsvirkning. EU's institutioner påtager sig intet ansvar for dens indhold. De officielle udgaver af de relevante udbudsbekendtgørelser er dem, der er offentliggjort i tillægget til Den Europæiske Unions Tidende og findes i TED. Disse officielle tekster er tilgængelige direkte via linkene på denne side. Yderligere oplysninger findes i meddelelsen om udbudsbetingelser og ansvar.