Publications Office of the EU
XUV Piezo Cluster - EU-udbud
DisplayCustomHeader
Procurement Detail Actions Portlet
OP Portal - Procurement - Details

Denne side indeholder indhold, der genereres automatisk for at forbedre søgemuligheder og tilgængelighed

- angiver CPV-koder, der er udledt af procedureteksten

XUV Piezo Cluster

  • Offentliggjort
    11/11/2024
  • Frist
    13/01/2025
  • Åbning af tilbuddene
    14/01/2025
  • I dag
    27/05/2026
Status
Indsendelse lukket
Kontrakttype
Supplies
Genstand for fornyelse
No
Indkøber
Universiteit Twente
Udførelsessted
NUTS code: Flere udførelsessteder
Indkøbers beliggenhed
NUTS code: Ikke til rådighed
Sektor (hoved-CPV)
38000000 Laboratorieudstyr, optisk udstyr og præcisionsudstyr (ikke briller)
Samlet anslået kontraktværdi (ekskl. moms)
1,900,000.00 EUR
Samlet endelig kontraktværdi (ekskl. moms)
Ikke til rådighed
Referencenummer for tilbuddet
EB-OUT 6528
Beskrivelse

The XUV Optics Group in MESA+ Institute at University of Twente tends to invest in the XUV Piezo Cluster to carry research on piezoelectric film-based sensors and actuators. The aim is to scale up the piezoelectric film coating capabilities to larger substrate dimensions with more advanced process control systems that enable to explore a broader process window. The XUV Piezo Cluster will be used for the deposition of pure metals, metallic oxides and piezoelectric layers onto various substrates to be further processed using photolithography and deposition steps in the MESA+ Nanolab facilities. Brief description of the capabilities is outlined below: The XUV Piezo Cluster shall be capable of processing at least 200 mm diameter substrates. The XUV Piezo Cluster shall include a chamber for deposition of piezoelectric Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) layer that acts as the active layer for sensor and actuator applications. The XUV Piezo Cluster shall include a chamber or chambers for deposition of pure metals such as Pt, gold (Au) or conductive metal oxides such as LaNiO3 or SrRuO3 layers. The XUV Piezo Cluster shall have the capability to sputter the typically used Ti, Ta or Cr adhesion layers preceding the pure metal layers. The XUV Piezo Cluster shall include a load-lock chamber for fast sample loading and reaching of the base pressure. The XUV Piezo Cluster shall include a transfer chamber enabling the transfer of substrates between deposition chambers without breaking the vacuum. The XUV Piezo Cluster shall be further expandible to include a pre-treatment chamber for purposes such as degassing or etching before or after the layers are deposited. The full technical specifications can be found in ‘Appendix B: Schedule of Demands and Wishes’. Tenderers can derive no rights from the indicative specification. All amounts are specified excluding VAT.

Indsendelsesmetode
Elektronisk via:
https://s2c.mercell.com/today/119146
Tilbud kan afgives
Elektronisk indsendelse: tilladte
https://s2c.mercell.com/today/119146
Oplysninger om en offentlig kontrakt, en rammeaftale eller et dynamisk indkøbssystem
Ikke til rådighed
Fremgangsmåden ved åbning af tilbud (dato)
14/01/2025 12:00
Udførelsessted
Tildelingsmetode
Ikke til rådighed
Anslået værdi
1,900,000.00 EUR
Endelig kontraktværdi
Ikke til rådighed
Tildeling af kontrakten
Ikke til rådighed
Forudgående oplysninger
Kontrakt
Tildeling
Footnote - legal notice

Det indhold, der offentliggøres på denne side, er udelukkende tænkt som en supplerende tjeneste og har ingen retsvirkning. EU's institutioner påtager sig intet ansvar for dens indhold. De officielle udgaver af de relevante udbudsbekendtgørelser er dem, der er offentliggjort i tillægget til Den Europæiske Unions Tidende og findes i TED. Disse officielle tekster er tilgængelige direkte via linkene på denne side. Yderligere oplysninger findes i meddelelsen om udbudsbetingelser og ansvar.