-
Zveřejněno14/10/2022
-
Lhůta11/11/2022
-
Otevírání nabídek12/11/2022
-
Udělení zakázky17/02/2023
-
Dnes16/07/2026
Nástroje
Švédsko-Lund: Laboratorní, optické a přesné přístroje a zařízení (mimo skel)
Scope
Lund Nano Lab is planning to purchase an automated wafer processing cluster tool for spin coating and development. This system must contain process automation and be capable of performing sample preparation including adhesion promotion HMDS coating, resist spin-coating, sample baking and automated wet chemical development with minimum manual handling, via user-defined recipes. The system must be capable of handling several of our most sensitive and commonly used resists. A key attribute of the system will be the ability to form uniform and repeatable resist coating results and highly controlled development times of wafers post-exposure.
The tool must also contain several hotplates so that different temperatures can be programed simultaneously, and samples are transferred to these without user intervention via robotic arms.
https://tendsign.com/doc.aspx?UniqueId=afmyaxhrax&GoTo=Tender
Poštovní adresa: Europastraße 8
Obec: Villach / Austria
PSČ: A-9524
Země: AUT
Obsah zveřejněný na této stránce je považován pouze za doplňkovou službu a nemá žádný právní účinek. Orgány Evropské unie nenesou za obsah stránek žádnou odpovědnost. Oficiální znění příslušných oznámení o zadávacím řízení jsou ta, která jsou zveřejněna v dodatku Úředního věstníku Evropské unie a jsou k dispozici v TED. Tato oficiální znění jsou přímo dostupná přes odkazy uvedené na těchto stránkách. Více informací najdete v oznámení o vysvětlitelnosti a odpovědnosti při zadávání veřejných zakázek.