-
Zveřejněno13/08/2026
-
Lhůta14/09/2026
-
Dnes07/10/2026
Nástroje
- označuje kódy CPV vyvozené z textu řízení
- označuje text automaticky přeložený do vašeho jazyka prohlížení
Leptací systém pro hluboké leptání křemíku pro MEMS
Ruhr-Universität Bochum má v úmyslu pořídit leptací systém DRIE, který bude použit ve výzkumné laboratoři Microelectronics Bochum pro substráty oplatek do průměru 200 mm. Bude se používat v oblasti mikroelektromechanických systémů na bázi křemíku (MEMS) pro hluboké anizotropní leptání křemíku založené na cyklickém leptání (DRIE, "BOSCH proces") a bude také sloužit k výzkumu nových konceptů leptání, které používají méně klimaticky škodlivé leptací plyny.
https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNYH7D2XQ
https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNYH7D2XQ
38000000 - Laboratorní, optické a přesné přístroje a zařízení (mimo skel)
22000000 - Tiskařské výrobky a související produkty
Obsah zveřejněný na této stránce je považován pouze za doplňkovou službu a nemá žádný právní účinek. Orgány Evropské unie nenesou za obsah stránek žádnou odpovědnost. Oficiální znění příslušných oznámení o zadávacím řízení jsou ta, která jsou zveřejněna v dodatku Úředního věstníku Evropské unie a jsou k dispozici v TED. Tato oficiální znění jsou přímo dostupná přes odkazy uvedené na těchto stránkách. Více informací najdete v oznámení o vysvětlitelnosti a odpovědnosti při zadávání veřejných zakázek.