Publications Office of the EU
Leptací systém pro hluboké leptání křemíku pro MEMS - Výběrová řízení EU
DisplayCustomHeader
Procurement Detail Actions Portlet
OP Portal - Procurement - Details

Tato stránka obsahuje obsah generovaný automaticky pro zlepšení dohledatelnosti a přístupnosti

- označuje kódy CPV vyvozené z textu řízení

- označuje text automaticky přeložený do vašeho jazyka prohlížení

Leptací systém pro hluboké leptání křemíku pro MEMS

  • Zveřejněno
    13/08/2026
  • Lhůta
    14/09/2026
  • Dnes
    07/10/2026
Stav
Konec zasílání nabídek
Druh smlouvy/zakázky
Supplies
Opětovné zahájení řízení
No
Kupující
Ruhr-Universität Bochum
Místo plnění
NUTS code: Více míst plnění
Sídlo kupujícího
NUTS code: DEA51 Bochum, Kreisfreie Stadt
Hospodářské odvětví (hlavní CPV)
38000000 Laboratorní, optické a přesné přístroje a zařízení (mimo skel)
Celková odhadovaná hodnota zakázky (bez DPH)
1,024,000.00 EUR
Celková konečná hodnota zakázky (bez DPH)
Není k dispozici
Číslo nabídky
WD/2026/BVG00084528
Popis

Ruhr-Universität Bochum má v úmyslu pořídit leptací systém DRIE, který bude použit ve výzkumné laboratoři Microelectronics Bochum pro substráty oplatek do průměru 200 mm. Bude se používat v oblasti mikroelektromechanických systémů na bázi křemíku (MEMS) pro hluboké anizotropní leptání křemíku založené na cyklickém leptání (DRIE, "BOSCH proces") a bude také sloužit k výzkumu nových konceptů leptání, které používají méně klimaticky škodlivé leptací plyny.

Metoda podání
Elektronicky:
https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNYH7D2XQ
Nabídky lze podat
Elektronické podání: vyžadováno
https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNYH7D2XQ
Informace o veřejné zakázce, rámcové dohodě nebo dynamickém nákupním systému
Není k dispozici
Podmínky pro otevírání nabídek (datum)
Není k dispozici
Způsob zadání zakázky
Není k dispozici
Odhadovaná hodnota
1,024,000.00 EUR
Konečná hodnota zakázky
Není k dispozici
Přidělení zakázky
Není k dispozici
Předběžné informace
Smlouva
Výběr nabídky
Footnote - legal notice

Obsah zveřejněný na této stránce je považován pouze za doplňkovou službu a nemá žádný právní účinek. Orgány Evropské unie nenesou za obsah stránek žádnou odpovědnost. Oficiální znění příslušných oznámení o zadávacím řízení jsou ta, která jsou zveřejněna v dodatku Úředního věstníku Evropské unie a jsou k dispozici v TED. Tato oficiální znění jsou přímo dostupná přes odkazy uvedené na těchto stránkách. Více informací najdete v oznámení o vysvětlitelnosti a odpovědnosti při zadávání veřejných zakázek.