-
Zveřejněno11/11/2024
-
Lhůta13/01/2025
-
Otevírání nabídek14/01/2025
-
Dnes27/05/2026
Nástroje
- označuje kódy CPV vyvozené z textu řízení
- označuje text automaticky přeložený do vašeho jazyka prohlížení
XUV Piezo klastr
Skupina XUV Optics Group v institutu MESA+ na univerzitě v Twente má tendenci investovat do klastru XUV Piezo, aby provedla výzkum piezoelektrických snímačů a akčních členů na bázi filmu. Cílem je rozšířit možnosti povlakování piezoelektrickým filmem na větší rozměry substrátu s pokročilejšími systémy řízení procesů, které umožňují prozkoumat širší procesní okno. XUV Piezo Cluster bude použit pro depozici čistých kovů, oxidů kovů a piezoelektrických vrstev na různé substráty, které budou dále zpracovány pomocí fotolitografie a depozičních kroků v zařízeních MESA+ Nanolab. Stručný popis schopností je uveden níže: Piezoklastr XUV musí být schopen zpracovávat substráty o průměru nejméně 200 mm. Piezoklastr XUV musí obsahovat komoru pro depozici piezoelektrické vrstvy Pb(Zr,Ti)O3 (PZT), která funguje jako aktivní vrstva pro aplikace snímačů a akčních členů. Piezoklastr XUV musí obsahovat komoru nebo komory pro depozici čistých kovů, jako je Pt, zlato (Au) nebo vodivé oxidy kovů, jako jsou vrstvy LaNiO3 nebo SrRuO3. Piezoklastr XUV musí být schopen rozprašovat obvykle používané adhezní vrstvy Ti, Ta nebo Cr, které předcházejí vrstvám čistého kovu. Seskupení XUV Piezo musí obsahovat komoru se zámkem zatížení pro rychlé naplnění vzorku a dosažení základního tlaku. Piezoskupina XUV musí obsahovat přenosovou komoru umožňující přenos substrátů mezi depozičními komorami bez rozbití vakua. Piezoskupina XUV musí být dále rozšiřitelná tak, aby zahrnovala předúpravní komoru pro účely, jako je odplynění nebo leptání před nebo po nanesení vrstev. Úplné technické specifikace jsou uvedeny v „Dodatku B: Seznam požadavků a přání“. Uchazeči nemohou z orientační specifikace odvozovat žádná práva. Všechny částky jsou uvedeny bez DPH.
https://s2c.mercell.com/today/119146
https://s2c.mercell.com/today/119146
38000000 - Laboratorní, optické a přesné přístroje a zařízení (mimo skel)
Obsah zveřejněný na této stránce je považován pouze za doplňkovou službu a nemá žádný právní účinek. Orgány Evropské unie nenesou za obsah stránek žádnou odpovědnost. Oficiální znění příslušných oznámení o zadávacím řízení jsou ta, která jsou zveřejněna v dodatku Úředního věstníku Evropské unie a jsou k dispozici v TED. Tato oficiální znění jsou přímo dostupná přes odkazy uvedené na těchto stránkách. Více informací najdete v oznámení o vysvětlitelnosti a odpovědnosti při zadávání veřejných zakázek.