-
Публикувано11/11/2024
-
Срок13/01/2025
-
Отваряне на оферти14/01/2025
-
Днес26/05/2026
Помощни инструменти
- указва кодове по CPV, изведени въз основа на текста на процедурата
- указва текст, който е преведен автоматично на вашия език за навигация
XUV Piezo клъстер
XUV Optics Group в института MESA+ в Университета в Твенте има тенденция да инвестира в клъстера XUV Piezo, за да проведе изследвания на пиезоелектрическите филмови сензори и задвижващи механизми. Целта е да се увеличат възможностите на пиезоелектричното филмово покритие до по-големи размери на субстрата с по-модерни системи за управление на процесите, които позволяват да се проучи по-широк прозорец на процеса. XUV Piezo клъстерът ще се използва за отлагане на чисти метали, метални оксиди и пиезоелектрически слоеве върху различни субстрати, за да бъде допълнително обработен с помощта на фотолитография и отлагане в съоръженията на MESA+ Nanolab. Кратко описание на възможностите е описано по-долу: Клъстерът XUV Piezo трябва да може да обработва субстрати с диаметър най-малко 200 mm. Клъстерът XUV Piezo трябва да включва камера за отлагане на пиезоелектрическия Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) слой, който действа като активен слой за приложения на датчици и задвижващи механизми. Клъстерът XUV Piezo включва камера или камери за отлагане на чисти метали като Pt, злато (Au) или проводими метални оксиди, като слоеве LaNiO3 или SrRuO3. Клъстерът XUV Piezo трябва да има способността да разпрашава обичайно използваните слепващи слоеве Ti, Ta или Cr, предхождащи слоевете от чист метал. Клъстерът XUV Piezo трябва да включва заключваща камера за бързо натоварване на пробата и достигане на базовото налягане. Клъстерът XUV Piezo трябва да включва преносна камера, позволяваща прехвърлянето на субстрати между камерите за отлагане, без да се прекъсва вакуумът. Клъстерът XUV Piezo трябва да може да се разширява допълнително, за да включва камера за предварителна обработка за цели като дегазиране или ецване преди или след отлагането на слоевете. Пълните технически спецификации могат да бъдат намерени в „Допълнение Б: График на исканията и желанията“. Оферентите не могат да черпят права от индикативната спецификация. Всички суми са посочени без ДДС.
https://s2c.mercell.com/today/119146
https://s2c.mercell.com/today/119146
38000000 - Лабораторно, оптично и прецизно оборудване (без стъклени изделия)
45000000 - Строителни и монтажни работи
Съдържанието, публикувано на тази страница, е само за информационни цели и няма правно действие. Институциите на Съюза не поемат отговорност за това съдържание. Официалните версии на съответните обявления за обществени поръчки са версиите, публикувани в притурката към Официален вестник на Европейския съюз и достъпни в TED. Тези официални текстове са пряко достъпни чрез връзките на настоящата страница. За повече информация, моля, вижте обяснителната бележка за отговорността по отношение на обществените поръчки.